如果物料輸送是在空間受限的真空環境下沿垂直方向而進行的，真空升降機能夠在真空傳輸設備中準確輸送高兼容性的晶圓。
真空升降機可以配備一個或兩個伺服控制軸。單軸升降機能夠沿垂直方向輸送晶圓達到7，14，17英寸行程。雙軸升降機能夠繞垂直軸進行額外360度旋轉。采用鐵磁流體和磁耦合密封件，將平移和旋轉機構與大氣環境隔開。
| 配置 | |
| 晶圓載具類型 | 晶圓盒與晶圓舟 |
| 物理性質 | |
| 尺寸（直徑） |
單軸 10.35", 雙軸 12.50" |
| 本體高度 |
7" 行程 – 15.6", 14" 行程 – 22.6" 17" 行程 – 25.6" |
| 軸 | 1 或 2: Z 或 Z 和T |
| 運動範圍 |
Z: 7", 14", 17"; T : 360 度 |
| 性能 | |
| 有效載荷 | 20 lb |
| 基本工作壓力 | 10E-8 Torr |
| 泄漏率 | <1*10E-9 std cc/sec |
| 重復性 | |
| 旋轉 (T) | T: +/- 0.01 度 |
| 垂直 (Z) | Z: +/- 0.001" |
| 環境 | |
| 潔凈度 | < 1級潔凈室兼容 |
| 晶圓接觸材料 | 鋁，SS，氟化橡膠，真空潤滑脂 |
