GPR ™真空升降機在真空傳輸設備中準確傳送高兼容性晶圓。GPR ™真空升降機具有Genmark自動化公司的突破性GPR技術，提供1.5度傾斜的升降平臺。GPR ™真空升降機能夠沿垂直方向傳送至16英寸[406毫米]行程，能夠提升的負載達到50磅。采用鐵磁流體磁耦合密封件，將升降機平移機構與大氣環境隔開。
專利的GPR技術，使伺服控制機器人與未對齊的晶圓盒，FOUPS和過程模塊相兼容並且智能地接口，並且在大型有效載荷輸送過程中提供軟件控制的末端執行器的偏轉補償。
| 配置 | |
| 晶圓載具類型 | 晶圓盒與晶圓舟 |
| 物理性質 | |
| 尺寸（直徑） | 14.125" |
| 本體高度 |
14.9"行程- 23.1" 16"行程 - 25" |
| 軸 | 3: Z, Z1, Z2 |
| 運動範圍 | Z: 14.9", 16" |
| 性能 | |
| 有效載荷 | 50 lb |
| 基本工作壓力 | 10E-10 Torr |
| 泄漏率 | <1*10E-9 std cc/sec |
| 重復性 | |
| 垂直( Z ) | 0.001" |
| 可靠性 (MTBF) | > 80,000 小時 |
| 環境 | |
| 潔凈度 | < 1級潔凈室兼容 |
| 晶圓接觸材料 | 鋁，SS，氟化橡膠，真空潤滑脂 |
| 標準符合性 | |
| 使用指令/標準 | 機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 驗證符合性的標準 |
EN 60204-1:1997 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根據 SEMI E10 | >14M MCBF |
