產品特點

Porta R5<span class='small-trade'>™</span>
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特性:

  • BOLTS兼容的機械接口
  • 兼容載具 - 125毫米標線盒
  • 每個插槽的盒安置傳感器
  • 每個插槽的標線存在傳感器
  • 電磁門鎖
  • 門關閉指示器
  • 載具存在指示燈
  • 存取確定指示燈
  • 裝載時間:8秒
  • 卸載時間:8秒
  • 基於伺服控制機構的卓越性能
  • 2個可選的手動存取按鈕
  • 精確安裝的可選運動耦合
  • 配備易於安裝提升機構
  • 最小粒子,振動和噪音的產生
  • 模塊化設計,方便維修的存取

Porta R5

Genmark自動化公司的Porta R5™是一種專門為自動化標線裝載而設計的BOLTS兼容裝載埠。它采用了透明外殼,最多可容納125毫米標線的6個容器。外殼裝有掃描傳感器,顯示了每 個容器及其裏面標線存在的妥善安置。Porta R5™具有電磁門鎖,伺服驅動標線盒開啟工具,以及提供完全自動化和安全標線存取的隔離門。

規格:

配置  
兼容性 BOLTS 兼容
載具類型 6個125毫米標線載具
晶圓尺寸 125毫米標線
基板類型 標線
狀態指示燈 2個燈 - “放置”和“行動確定”
操作按鈕 一個手動存取按鈕
載具傳感器 載具安置傳感器
晶圓映射 標線存在傳感器
物理性質  
夾緊機構 載具加載門的可鎖定聯鎖
高度 - 帶有小車1385毫米(54.54英寸)
- 無小車1336毫米(52.61英寸)
寬度 470毫米 (18.50 英寸)
驅動 - 伺服電機驅動的載具打開機構
- 伺服電機驅動的開門機構
性能  
可靠性 MCBlp > 150K 周期
MCBl > 321.877 周期
MTTR 60 分鐘
可用性 99.89%
速度 裝載4秒
卸載4秒
環境  
潔凈度 在100級環境情況下的1級ANSI
標準符合性  
SEMI - E15.1: 裝載埠
- S2 合規性
- S8 工效指南符合性
- E44 微環境下的采購和驗收指南
- E10 可用性
其他標準 - UBC Zone 4區和S2區的抗震穩定性
- 歐盟機械指令
- 歐盟低電壓指令
- EU EMI/ESD
- 符合I300I工廠指南的載具ID讀取器
可靠性根據 SEMI E10  
MCBF (周期) > 1M