產品特點

Porta FOSB<span class='small-trade'>™</span>
Porta FOSB<span class='small-trade'>™</span>
Porta FOSB<span class='small-trade'>™</span>
 

特性:

  • BOLTS兼容的機械接口
  • 兼容的載具- 300毫米FOSB,200毫米,150毫米的開放式晶圓盒
  • 每種晶圓尺寸的載具存在傳感器
  • 載具存在指示燈
  • 存取確定指示燈
  • 裝載時間:28秒
  • 卸載時間:28秒
  • 基於伺服控制機構的卓越性能
  • 最小粒子,振動和噪音的產生
  • 模塊化設計,方便維修的存取

符合SEMI標準:

  • E15.1: 裝載埠
  • S2 合規性
  • S8 工效指南符合性
  • E44微環境下的采購和驗收指南
  • 機械。用於對齊和支撐300毫米晶圓載具的運動聯軸器規範
  • E10可用性

其他標準:

  • UBC Zone 4區和S2區的抗震穩定性
  • 歐盟機械指令
  • 歐盟低電壓指令
  • EU EMI/ESD
  • 符合I300I工廠指南的載具ID讀取器
  • MCBIp > 150K 周期
  • MCBI > 321,877 周期
  • MTTR 60 分鐘
  • 可用性 99.89%

Porta FOSB

Genmark自動化公司的Porta FOSB™是專門為300毫米前開合存儲盒(FOSB)而設計的多功能裝載埠。該設備有一個傾斜的平臺,以便進行安全人工輸送和打開300毫米載具。 Porta FOSB™由伺服驅動的外殼所隔離,提供安全存取晶圓和進入潔凈前端微環境。多功能的設計可以容納150毫米或200毫米開放式晶圓盒。專用載具存在傳感 器顯示了加載載具的大小。由機載計算機和控制器控制,通過一些硬件和軟件的安全聯鎖而保護設備和操作人員。按照所有適用的SEMI標準和I300I指南設 計,Porta FOSB設定了這一類設備在性能,可靠性,功能性方面的基準。

規格:

配置  
兼容性 BOLTS 兼容
載具類型 - FOUP, 25晶圓
- 使用開放式晶圓盒適配器時,25毫米晶圓和150毫米和200毫米晶圓盒
晶圓尺寸 150毫米, 200毫米, 300毫米
基板類型 晶圓
狀態指示燈 2個燈 - “放置”和“行動確定”
載具傳感器 - FOUP安置 - 150毫米載具安置 - 200毫米載具安置
物理性質  
高度 1336毫米 (52.30 英寸
寬度 470毫米 (18.50 英寸)
驅動 - 氣動(加載板的傾斜運動) - 伺服電機驅動頂蓋和側蓋
性能  
可靠性 MCBlp > 150K 周期
MCBl > 321.877 周期
MTTR 60 分鐘
可用性 99.89%
速度 裝載30秒
卸載30秒
環境  
潔凈度 在100級環境情況下的1級ANSI
標準符合性  
SEMI - E15.1:加載埠 - S2合規性 - S8工效學準則符合性 - E44微環境下的采購和驗收指南 - E57機械。用於對齊和支持300毫米晶圓載具的運動聯軸器規範 - E10 可用性
其他標準 -  UBC Zone 4區和S2區的抗震穩定性
- 歐盟機械指令
- 歐盟低電壓指令
- EU EMI/ESD
- 符合I300I工廠指南的載具ID讀取器
可靠性根據 SEMI E10  
MCBF (周期) > 1M