Genmark公司的最新機器人系列，G-Rex 3™描述了標準有效載荷300毫米和450毫米晶圓輸送工具應用的目前所有的技術規範，是目前市場上最精確的和最高生產量的大氣機器人解決方案。
G-Rex3™機器人系統提供一種有成本效益的程序包，保證了占用空間小，最佳生產量，可靠性和適用性。它提供了創新的專利申請中的設計，高級控制 方法和EZTeach技術，確保高性能和可靠性。G-Rex3™提供了一種較少部件和運動部件的簡化小批量設計，確保了更高的加速度和速度的改進動態。
G - Rex3™易於安裝，示教，計劃和故障排除。由於它的多功能性，G-Rex3™支持各種工具應用和靈活的定制配置，包括單和雙臂，單和雙葉片末端執行器，真空或邊緣抓取支架。.
| G-Rex 3 v.1 | G-Rex 3 v.2 | |
| 配置 | ||
| 晶圓尺寸 | 可達 450毫米 | 可達 450毫米 |
| 機器臂配置 |
2 連桿: 5.25"-5.25; 2 連桿: 7-25"-7.25"; 3 連桿: 4"-8"-4" |
5.205"-5.205" |
| 末端執行器類型 | 真空，邊緣抓取，重力 | 真空，邊緣抓取，重力 |
| 晶圓映射 | 反射; 光束 | 光束在末端執行器的後側 |
| 物理性質 | ||
| 尺寸（直徑/長度） | 9.76" (本體直徑) 和 30.25" | 9.8"/20.94" |
| 垂直行程---本體高度 |
7" - 13.6" 12" - 18.6" 17" - 23.6" 20" - 26.6" |
NA (灰色) |
| 軸 | 3 - T, R, Z | 3 - T, R, Z |
| 運動範圍 |
T: 500° R: - 5.25'-5.25': [-10.41 - 10.41] - 7.25'-7.25': [-14.5", 14.5"] - 4"-8"-4": [-16", 16"] Z: 7"; 12"; 17"; 20" |
T: 500° R: [-10.41 - 10.41] Z: [10.7"] |
| 性能 | ||
| 有效載荷（動態/靜態） | 2 lbs | 2 lbs |
| 重復性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0/001" |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0/001" |
| 環境 | ||
| 潔凈度 | ISO等級1兼容 | ISO等級1兼容 |
| 晶圓 Contact Material | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸漬陽極化處理Al，氧化鋁，不銹 | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸漬陽極化處理Al，氧化鋁，不銹 |
| 標準符合性 | ||
| 使用指令/標準 |
機器指令89/392/EEC 89/336/EEC (EMC) S2-93A S8-95 |
機器指令89/392/EEC 89/336/EEC (EMC) S2-93A S8-95 |
| 驗證符合性的標準 |
EN 55011 EN 50082-1 EN 60204-1 |
EN 55011 EN 50082-1 EN 60204-1 |
| 可靠性根據 SEMI E10 | >15M MCBF | >15M MCBF |
黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備，它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括：:
累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段，來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口，不需要更新機器人固件。
