產品特點

GPR-GB7-TL Robot System (300/450mm)
 

GPR-GB7-TL Robot System (300/450mm)

GPR-GB7-TL可伸縮機器人能夠將GB7的有效工作範圍,擴展至40”的最大垂直位移,並且具有Genmark公司的GPR和偏轉專利技術功能,以實現晶圓自動化輸送,目前能夠提供的最高能夠輸送直徑達450毫米晶圓。

專利的GPR技術,使伺服控制機器人與未對齊的晶圓盒,FOUP和過程模塊相兼容並且智能地互動,以及在大型有效載荷輸送過程中提供軟件控制的末端執行器的偏轉補償。

GPR-GB7Y-TL機器人的獨特多平臺功能將正常的垂直行程限制增加了一倍。其偏轉--軸功能可以取代各種聯機處理應用的一個追蹤系統。 GB7-TL 和GB7Y-TL可以配備集成在各種前端和其他工具布局中的各種機器臂和末端執行器配置。該機器人適合2個或3個伸縮平臺配置。

規格:

配置  
晶圓尺寸 可達 450毫米
機器臂配置 3連桿 6"-12"-6"
末端執行器類型 真空,邊緣抓取,重力
晶圓映射 反射; 光束
物理性質  
尺寸(直徑/長度) 22.8" (本體直徑)
12: T, R, Y, Z, Z1, Z2, L, L1, L2, B, B1, B2
運動範圍 T: 500°
R:
-    6"-12"-6": [-22.8", 22.8]
Z: 40" (組合軸, Z+L+B)
Y: 344°
傾斜: 1.5°
性能  
有效載荷(動態/靜態) 2.5lbs
重復性 T: +/- 0.01°
R: +/- 0.001"
Z: +/- 0.001"
環境  
潔凈度 ISO等級1兼容
晶圓接觸材料 Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸漬陽極化處理Al,氧化鋁,不銹
標準符合性  
使用指令/標準 機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2 - 93A
驗證符合性的標準 EN 60204-1:1997
EN 55011
EN ISO 12100-2:2003
RIA R15.06:1999
可靠性  
可靠性根據 SEMI E10 >15M MCBF

黑盒選項:

黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備,它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括::

  • 設備的正常運行時間,停機時間,制造時間和總運行時間。數據符合SEMI E10-0701標準。
  • 每個電機的轉數
  • 因機器人碰撞造成的超速/加速或過載的故障數
  • 機器人的具體信息,如序列號,校準數據和額外的統計數據。

累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段,來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。

黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口,不需要更新機器人固件。

黑盒規格

  • 觀察到的機數量:8
  • 存儲介質:64KB閃存
  • 數據保存時間:10年以上
  • 通訊接口:RS232,以太網(可選)。