EVTMHS是一種具有擴展垂直行程的晶圓輸送系統，旨在使用半導體制造工具輸送300毫米和450毫米晶圓（需要超大工作範圍的解決方案）。
系統還可以在無需任何硬件改動的情況下輸送200毫米晶圓。對於低於200毫米尺寸的晶圓，機器人末端執行器必須重新配置。重新配置用去的時間通常 是不到一個小時，包括示教所有拾取位置所需的時間。因此，通過系統固件提供的復雜autoteach例程，可以實現平均45分鐘的示教時間（拾取位置）。
可選光束映射傳感器考慮了FOUP和晶圓舟中正常插入，十字開槽，或雙開槽的晶圓的可靠檢測。根據所選擇的機器臂配置，系統可以存取一個或兩個聯機Semi標準FOUP。從操作的角度，使用一個單一的控制器來完全整合和控制該系統。
| 配置 | |
| 晶圓尺寸 | 可達 450毫米 |
| 機器臂配置 | 7-25"-7.25" |
| 末端執行器類型 | 真空，邊緣抓取，重力 |
| 晶圓映射 | 反射; 光束 |
| 物理性質 | |
| 尺寸（直徑/長度） | 11.7" (長度) |
| 軸 | 3 – T,R,Z. |
| 運動範圍 |
T: 500° R: [-14.25", 14.25"] Z: 40.57" |
| 性能 | |
| 有效載荷（動態/靜態） | 2 Lb |
| 重復性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
| 環境 | |
| 潔凈度 | ISO等級1兼容 |
| 晶圓接觸材料 | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸漬陽極化處理Al，氧化鋁，不銹 |
| 標準符合性 | |
| 使用指令/標準 | 機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 驗證符合性的標準 |
EN 60204-1:1997 EN 55011 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根據 SEMI E10 | >15M MCBF |
黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備，它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括：:
累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段，來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口，不需要更新機器人固件。
