分離式預對準器（RPA）是一個附加的智能機器人，提供基板放置的偏心率和方向的準確的非接觸式測量。它的設計能夠與Gencobot系列第4，7，8，GPR-SM（需要由材料輸送應用程序進行基板對齊時）實現無縫集成。
在機器人的工作範圍內，該裝置可任意放置。它可以配置幾種垂直行程範圍或沒有任何的垂直運動。基板可以放置在夾頭或預對準器的可選固定引腳上，這取決於機器人的末端執行器的形狀。
預對準器的操作，包括晶圓位移的測量，必要補償的計算和槽口（或平面）與所需角度的定向。完成定向之後，機器人通過必要的偏移補償而拾取晶圓。為了最大限度地提高系統的吞吐量，控制器可以同時操作預對準器和機器人 - 測量晶圓的時候，機器人可以執行其他任務。
RPA設計用於廣泛的應用範圍，無論要對齊的基板的尺寸，形狀，透明度和厚度如何。定制設計的燈塔保證了固體和透明對象的準確和可靠的測量。內置的光學系 統認可大約6毫米的基板厚度。預對準器可以測量直徑50到300毫米的晶圓和75到200毫米的方形基板。一個可選的移動式燈塔能夠針對不同基板尺寸而進 行軟件控制調整。
| 適用於 | 晶圓, 標線 |
| 晶圓尺寸 | 2", 3", 3100毫米, 125毫米, 150毫米, 200毫米, 300毫米 |
| 平坦或槽口方向 | 平坦或槽口 |
| 對準精度 | |
| 中心偏移量 | 0.002" |
| 角偏移量 | 0.1 度 |
| 對準時間 | 5 秒 |
| 初始偏移容差 | 0.5" |
| 伺服燈塔間距 | 0.35", 0.5" |
| 最大垂直速度 | 20"/s |
| 最大垂直加速度 | 40"/s2 |
| 物理性質 | |
| 垂直行程-本體高度 |
8.5" - 14" 13"- 18.5 16" – 25.35 |
| 長度 | 12.3" |
| 寬度 | 3.4" |
| 標準符合性 | |
| 使用指令/標準 | 機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 驗證符合性的標準 |
EN 60204- 1:1997 EN ISO 12100- 2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根據 SEMI E10 / MCBF | >20M |
