產品特點

Autoteach
Autoteach
 

Autoteach

Genmark自動化公司提供一種技術,以調整校準一個典型半導體制造工具所需的時間(從小時到分鐘)。這種自動化的示教技術或簡稱 Autoteach,並不需要龐大額外的資本投資(采用復雜的工具修改和昂貴的第三方設備的形式)。Autoteach消除了手工示教的主觀性,確保了生 產材料的安全和快速操作。

半導體工具進行維修或日程維護時,操作工具的晶圓廠因為增加的維修成本以及損失的收入而正在喪失大量資金。實際上保留了大量的停機時間,以校準自動 化材料輸送工具(機器人),這是半導體工具的公用部分。此外,如果沒有正確執行校準,機器人可能損壞輸送的材料,毀壞了價值數十萬美元的產品。

如何運作:

通過它的硬件和軟件資源,Autoteach計算出坐標中拾取位置的晶圓中心的絕對XYZ坐標,這是機器人控制系統可以理解的。為了獲得拾取位置的 坐標,Autoteach采用了給定的末端執行器的幾何形狀,四個光束傳感器(圖1) - 兩個水平和兩個垂直。水平傳感器確定了與拾取位置的晶圓平面存在已知關系的一個平面,而垂直傳感器確定了與晶圓平面垂直的直線(通過晶圓中心拉出的)以及 漸近角,以取回或輸送晶圓到該位置。

通過執行預定義序列的運動,機器人使用末端執行器而越過光束,將光束坐標鎖定在機器人坐標系。基於這些鎖定坐標和光束的已知絕對(XYZ)坐標,Genmark控制軟件推算出晶圓中心在機器人坐標空間中的坐標。

校準拾取位置的整個過程是由一個單一的機器人命令而啟動的,發送到機器人控制器,它不需要任何計算或工具的主機軟件所產生的額外幹預。這意味著,所有的操作人員所要做的就是按下工具的GUI觸摸屏上的按鈕,或在Genmark機器人控制實用程序的命令行輸入命令。

一般來說, Autoteach工具將為5年生產的機器人進行校準而累計約250小時的停機時間,這將花費掉至少人工費用50000美元,失去了數以百萬計的潛在收 入. 隨著ROL的瞬間完成,工具準備開始生產,事實證明:Autoteach大大降低了工具的停機時間,提高了其盈利能力,這也難怪Autoteach是許多 Genmark自動化公司客戶的首選。