Genmark 自動化公司的SortMax300 HT™致力於在嚴格的可靠性和潔凈度規範要求下提供晶圓的高效率海量傳送。基於模塊化設計，它可以支持多達8個FOUP/ FOSB站的配置。最高的生產能力是技術特點擴展的結果，包括基於Genmark自動化公司的成熟GREX雙臂機器人系列的設計獨特的雙末端執行器晶圓輸 送機構。
基於最新的ECS300設備控制軟件套件，SortMax300HC™還確保了大大提高的功能性和可靠性。與快速的軟件設置一道，高度復雜的軟件套 件已經得到改進，包括內置支持最新的晶圓廠要求。專用的“自教”腳本程序能夠進一步簡化晶圓輸送的示教過程，優化操作界面，並減少維護期間的停機。
Genmark自動化公司的高容量晶圓分揀機SortMax300 HT™旨在輸送300毫米晶圓並提供標準或定制配置。多種末端執行器，晶圓映射器和單或雙晶圓對準器只是它的許多選項中的一些而已。
| 外殼 | |
| 基架 | 焊接管，BOLTS兼容裝載埠 |
| 塗層 | 烘焙粉末塗層 |
| 容量（堆放） | 多達8個裝載埠 |
| 扇形過濾器 | |
| 扇形過濾器裝置 | 根據客戶規格 |
| 過濾介質 | 聚四氟乙烯ULPA的99.99995％@0.1微米的效率 |
| 晶圓尺寸 | 可達 300 毫米 |
| 自動化 | |
| 大氣機器人 (類型) | Grex4 |
| 末端執行器（類型） | 真空抓取，邊緣抓取，重力 |
| 預對準器類型 | 真空抓取夾頭，邊緣抓取夾頭 |
| 晶圓映射 | 光束 |
| 用戶界面 | 鍵盤，鼠標，觸摸屏 |
| 軟件界面 | SEMI E30, E84, E87, E90, E40, E94, E99, E118, E116 |
| 通訊 | RS232 (SECS-I), 以太網 (HSMS) |
| 物理性質 | |
| 長度 |
兩個裝載埠 - 45'' 三個裝載埠 - 66'' 四個裝載埠 - 80'' |
| 空氣壓力：與潔凈度的環境有關 | |
| 埠關閉 | 規格:0.01 +/- 0.005 英寸w.c., (2.5 +/- 0.13Pa) |
| 裝載/卸載 | 規格:0.01 +/- 0.005 英寸w.c., (2.5 +/- 0.13Pa) |
| ME恢復時間 | < 38秒 |
| 空氣流速 | 90+/ - 10％英尺/分鐘（0.45+/ - 10％米/秒） |
| 標準符合性 | |
| SEMI |
- SEMI S1-0701 - SEMI S2-1102 - SEMI S7-96 - SEMI S8-0701 - SEMI S9-1101 - SEMI S10-1296 - SEMI S13-0298 - SEMI E15-0698 - SEMI S11-1296 - SEMI E54-0997 - SEMI E58-0301 - SEMI F47-0400 |
| 其他標準 | CE標準，國際半導體制造聯盟的集成微環境最佳設計實踐 |
| 環境 | |
| 潔凈度 | 等級1000或以上 |
