如果物料输送是在空间受限的真空环境下沿垂直方向而进行的，真空升降机能够在真空传输设备中准确输送高兼容性的晶圆。
真空升降机可以配备一个或两个伺服控制轴。单轴升降机能够沿垂直方向输送晶圆达到7，14，17英寸行程。双轴升降机能够绕垂直轴进行额外360度旋转。采用铁磁流体和磁耦合密封件，将平移和旋转机构与大气环境隔开。
| 配置 | |
| 晶圆载具类型 | 晶圆盒与晶圆舟 |
| 物理性质 | |
| 尺寸（直径） |
单轴 10.35", 双轴 12.50" |
| 本体高度 |
7" 行程 – 15.6", 14" 行程 – 22.6" 17" 行程 – 25.6" |
| 轴 | 1 或 2: Z 或 Z 和T |
| 运动范围 |
Z: 7", 14", 17"; T : 360 度 |
| 性能 | |
| 有效载荷 | 20 lb |
| 基本工作压力 | 10E-8 Torr |
| 泄漏率 | <1*10E-9 std cc/sec |
| 重复性 | |
| 旋转 (T) | T: +/- 0.01 度 |
| 垂直 (Z) | Z: +/- 0.001" |
| 环境 | |
| 洁净度 | < 1级洁净室兼容 |
| 晶圆接触材料 | 铝，SS，氟化橡胶，真空润滑脂 |
