GPR-GB9真空机器人系统是Genmark自动化公司的精密输送机器人的GPR ™产品线的最新成员，3" 和 6"的垂直行程可供使用。
GPR-GB9真空机器人系统在不到10-10 Torr的真空传输设备中准确和可重复的输送半导体晶圆。机器人具有Genmark自动化公司的突破性专利GPR ™系统，以实现最高级别性能，目前可以提供1300/450毫米兼容真空晶圆/ FPD输送工具。
专利的GPR技术，使伺服控制机器人与未对齐的晶圆盒，FOUPS和过程模块相兼容并且智能地接口，并且在大型有效载荷输送过程中提供软件控制的末端执行器的偏转补偿。
| 配置 | |
| 晶圆尺寸 | 可达450毫米的晶圆 盘片和其他附着物 |
| 机器臂配置 |
2 连杆 7.5"-7.5" 2 连杆 10.5"-10.5" 2 连杆 12.5"-12.5" |
| 末端执行器类型 | 重力 |
| 物理性质 | |
| 尺寸（直径） | 14" |
| 本体高度 |
3" l行程 - 26.2" 6" 行程 - 29.2" |
| 轴 | 3: T, R, Z. |
| 运动范围 |
T: 500°
R (重载机器臂): 倾斜： 1.0° |
| 性能 | |
| 有效载荷 |
25lbs (标准机器臂) 33lbs (重载机器臂) |
| 基本工作压力 | 10E-10 Torr |
| 泄漏率 | <1*10E-9 std cc/sec |
| 重复性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
| 径向 ( R ) | 0.001" |
| 旋转( T ) | 0.01° |
| 垂直( Z ) | 0.001" |
| 可靠性 (MTBF) | > 80,000 小时 |
| 环境 | |
| 洁净度 | < 1级洁净室兼容 |
| 晶圆接触材料 | 铝，SS，氟化橡胶，真空润滑脂 |
| 标准符合性 | |
| 使用指令/标准 | 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 验证符合性的标准 |
EN 60204-1:1997 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根据 SEMI E10 | >14M MCBF |
黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备，它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括：:
累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段，来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口，不需要更新机器人固件。
