产品特点

AVR SMV 3000 Vacuum Robot System (300/450mm)
 

特性:

  • 尽量减少由于更快的晶圆交换而引起的过程模块的空闲时间
  • 高级的运动规划和轴的协调
  • 其输送距离的最小占用空间,提供机器人系统周围的可用空间的最有效使用
  • 径向晶圆盒/过程室的存取能力
  • 无振动晶圆输送的基于DSP的运动控制
  • 小于1级洁净室兼容

AVR SMV 3000 Vacuum Robot System (300/450mm)

AVR SMV3000是一种高性能的双臂式真空机器人,可以在不到10E-10 Torr的真空传输设备中准确,可靠和可重复的输送晶圆。

机器臂和传动设计中的最新技术保证了与偶尔“过度激活”闸阀发生不可避免碰撞之后的零间隙,这意味着无需重新示教机器人就可以立即恢复。这个机器人具有结构简单,模块化设计,易于控制,示教和编程的特点。

连续平滑轨迹的高级运动规划保证了卓越的性能和各种后端布局中的有效实施。

AVR SMV3000提供了各种末端执行器选项,使得机器人能够输送多种晶圆,FPD和光罩。

规格:

配置  
晶圆尺寸 可达 300毫米
机器臂配置 2 连杆 7.5"-7.5"
末端执行器类型 重力
物理性质  
尺寸(直径) 11.5"
本体高度 20.46"
4: T, R, R2, Z.
运动范围 T: 360°
R 和 R2: -7.25"-7.25": [-13.775", 13.775"]
Z: 1.5"
性能  
有效载荷 12 lb
基本工作压力 10E-10 Torr
泄漏率 <1*10E-9 std cc/sec
重复性 T: +/- 0.01°
R: +/- 0.001"
R2: +/- 0.001"
Z: +/- 0.001"
径向 ( R ) 0.001"
旋转( T ) 0.01°
垂直( Z ) 0.001"
可靠性 (MTBF) > 80,000 小时
环境  
洁净度 < 1级洁净室兼容
晶圆接触材料 铝,SS,氟化橡胶,真空润滑脂
标准符合性  
使用指令/标准 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2 - 93A
验证符合性的标准 EN 60204-1:1997
EN ISO 12100-2:2003
RIA R15.06:1999
可靠性  
可靠性根据 SEMI E10 >14M MCBF

黑盒选项:

黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备,它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括::

  • 设备的正常运行时间,停机时间,制造时间和总运行时间。数据符合SEMI E10-0701标准。
  • 每个电机的转数
  • 因机器人碰撞造成的超速/加速或过载的故障数  
  • 机器人的具体信息,如序列号,校准数据和额外的统计数据。

累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段,来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。

黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口,不需要更新机器人固件。

黑盒规格.

  • 观察到的机数量:8
  • 存储介质:64KB闪存
  • 数据保存时间:10年以上
  • 通讯接口:RS232,以太网(可选)。