产品特点

Porta R6<span class='small-trade'>™</span>
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特性:

  • BOLTS兼容的机械接口
  • 兼容载具 - 125毫米标线盒
  • 每个插槽的盒安置传感器
  • 每个插槽的标线存在传感器
  • 电磁门锁
  • 门关闭指示器
  • 载具存在指示灯
  • 存取确定指示灯
  • 装载时间:8秒
  • 卸载时间:8秒
  • 基于伺服控制机构的卓越性能
  • 2个可选的手动存取按钮
  • 精确安装的可选运动耦合
  • 配备易于安装提升机构
  • 最小粒子,振动和噪音的产生
  • 模块化设计,方便维修的存取

Porta R6

Genmark自动化公司的Porta R6™是一种专门为自动化标线装载而设计的BOLTS兼容装载埠。它采用了透明外壳,最多可容纳150毫米标线的6个容器。外壳装有扫描传感器,显示了每 个容器及其里面标线存在的妥善安置。Porta R6™具有电磁门锁,伺服驱动标线盒开启工具,以及提供完全自动化和安全标线存取的隔离门。.

规格:

配置  
兼容性 BOLTS 兼容
载具类型 6 150毫米标线载具
晶圆尺寸 150毫米标线
基板类型 标线
状态指示灯 2个灯 - “放置”和“行动确定”
操作按钮 一个手动存取按钮
载具传感器 载具安置传感器
晶圆映射 标线存在传感器
物理性质  
夹紧机构 载具加载门的可锁定联锁
高度 - 带有小车1385毫米(54.54英寸)
- 无小车1336毫米(52.61英寸)
宽度 470毫米 (18.50 英寸)
驱动 - 伺服电机驱动的载具打开机构
- 伺服电机驱动的开门机构
性能  
可靠性 MCBlp > 150K 周期
MCBl > 321.877 周期
MTTR 60 分钟
可用性 99.89%
速度 装载4秒
卸载4秒
环境  
洁净度 在100级环境情况下的1级ANSI
标准符合性  
SEMI - E15.1: 装载埠
- S2 合规性
- S8 工效指南符合性
- E44 微环境下的采购和验收指南
- E10 可用性
其他标准 - UBC Zone 4区和S2区的抗震稳定性
- 欧盟机械指令
- 欧盟低电压指令
- EU EMI/ESD
- 符合I300I工厂指南的载具ID读取器
可靠性根据 SEMI E10  
MCBF (周期) > 1M