产品特点

Open Cassette Adapter
Open Cassette Adapter
 

Open Cassette Adapter

Genmark自动化公司的开放式晶圆盒适配器(OCA)是装载埠的一种,晶圆盒可以依生产需要打开。开放式晶圆盒适配器(OCA)能够实现1级隔离,对 最新工具进行优化,它能够使最终用户在没有设施升级的资金困难的情况下,仍然可以使用开放式晶圆盒技术,以利用新技术的优势。