产品特点

GB4S-W Robot System
 

特性

  • 专用的机器人保护盖
  • 快速,准确,可重复晶圆输送
  • 无振动晶圆输送的基于DSP的运动控制器
  • 专有的多段连续轨迹运动控制
  • 一个紧凑程序包中组合的扩展输送距离和垂直行程

GB4S-W Robot System

Genmark自动化公司的“湿”过程晶圆输送机器人---GB4S-W机器人系统具有高精度,性能和可靠性的特征。GB4S-W保证了最小占用空 间的湿过程设备的最佳性能和最大工作时间。GB4S-W描述了所有主要问题,如与湿过程应用相关的水分/湿度运行条件(包括CMP和其他应用)所引起的机 器人机构的过早损坏。

GB4S-W机器人具有特殊的承载能力,无与伦比的可靠性和低经营成本,能够实现“湿”环境下晶圆输送应用的最高级别性能。GB4S - W机器人系统可以在单和双晶圆配置,以及不同输送距离和垂直行程组合的情况下使用。

规格:

配置  
晶圆尺寸 可达 300毫米
机器臂配置  7.25" -7.25"
末端执行器类型   可选翻转的真空或边缘抓取
晶圆映射 可选的, 反射 or 光束
物理性质  
尺寸(直径/长度) 9.76"  本体直径
T,R,Z,E(可选的末端执行器翻转轴)
运动范围 T:  500 度
R: +/- 14.5"
Z:  8"
E:  180 度
性能  
有效载荷(动态/静态) 2lbs
重复性 T: +/- 0.01 度
R: +/- 0.001"
Z: +/- 0.001"
E: +/- 0.01" 度
环境  
洁净度 ISO等级1兼容
晶圆接触材料 Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸渍阳极化处理Al,氧化铝,不锈
标准符合性  
使用指令/标准 机器指令89/392/EEC
低电压指令73/23/EEC
89/336/EEC(EMC)
SEMI S2 - 93A
验证符合性的标准 EN 60204-1
EN 292-1
EN 292-2
恢复  
可靠性根据 SEMI E10 >4.8M

黑盒选项:

黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备,它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括:

  • 设备的正常运行时间,停机时间,制造时间和总运行时间。数据符合SEMI E10-0701标准。
  • 每个电机的转数
  • 因机器人碰撞造成的超速/加速或过载的故障数  
  • 机器人的具体信息,如序列号,校准数据和额外的统计数据。


累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段,来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。

黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口,不需要更新机器人固件。

黑盒规格.

  • 观察到的机数量:8
  • 存储介质:64KB闪存
  • 数据保存时间:10年以上
  • 通讯接口:RS232,以太网(可选)。