产品特点

GB4S Robot System
 

特性

  • 快速,准确,可重复输送晶圆和标线
  • 扩展的输送距离和垂直行程组合
  • 扩展的旋转运动范围
  • 无振动晶圆输送的基于DSP的运动控制器
  • 多段连续轨迹控制
  • 快,慢扫描模式下的可选扫描功能

GB4S Robot System

GB4S机器人系统是一个高精度的300毫米晶圆输送机器人,为标准有效载荷和生产能力的需求提供卓越性能。

大小与Genmark自动化公司的原GB4机器人相同,GB4S具有许多设计改进,机器人的性能和可靠性得到了改进。GB4S机器人是专门为单或双晶圆输送而设计的,能够适用于不同输送距离和垂直行程组合。

与RPA-0分离式预对准器一道使用的GB4S机器人系统提供了晶圆和标线的高度精确和高度可重复的预对准和输送系统。它包括通过专门设计的末端执 行器传送叶片和对准夹头,起销,以及专用的运动控制软件而输送“薄晶圆”,以保证在克服增加的晶圆下垂和易碎性的同时,实现可靠的材料输送。也可以选择一 个翻转型末端执行器。

规格:

配置  
晶圆尺寸 可达 300毫米
机器臂配置 5.25"-5.25"; 7.25" -7.25"; 4"-8"-4"
末端执行器类型 真空,边缘抓取,重力
晶圆映射 反射; 光束
物理性质  
尺寸(直径/长度) 9.76"(本体直径)和30.25"
垂直行程 – 本体高度 7" - 13.6"
12" - 18.6"
17" - 23.6"
20" - 26.6"
3 - T, R, Z
运动范围 T: 500°
R:
- 5.25"-5.25": [-10.5", 10.5"]
- 7.25"-7.25"; [-14.5", 14.5"]
- 4"-8"-4": [-16", 16"]
Z: 7"; 12"; 17"; 20"
性能  
有效载荷(动态/静态) 2lbs
重复性 T: +/- 0.01°
R: +/- 0.001"
Z: +/- 0.001"
环境  
洁净度 ISO等级1兼容
晶圆接触材料 Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸渍阳极化处理AI,氧化铝,不锈钢
标准符合性  
适用指令/标准 机器指令89/392/EEC
低电压指令73/23/EEC
89/336/EEC(EMC)
SEMI S2-93A
验证符合性的标准 EN 60204-1
EN 292-1
EN 292-2
恢复  
可靠性根据SEMI E10 >15M MCBF

黑盒子选项:

黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备,它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括:

  • 设备的正常运行时间,停机时间,制造时间和总运行时间。数据符合SEMI E10-0701标准。
  • 每个电机的转数
  • 因机器人碰撞造成的超速/加速或过载的故障数。
  • 机器人的具体信息,如序列号,校准数据和额外的统计数据。

累计的信息提供了预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段,来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。

黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口,不需要更新机器人固件。

黑盒规格

  • 观察到的电机数量:8
  • 存储介质:64KB闪存
  • 数据保存时间:10年以上
  • 通讯接口:RS232,以太网(可选)