晶圆盒输送机器人的特点
Genmark公司的GB4S CTR晶圆载具输送机器人，用于尺寸达300毫米晶圆载具的输送（快速准确地用户定义站之间）。应用包括堆放隔间装载和卸载，以及工具装载埠和过程室之间 的隔间内部的晶圆盒输送。GB4S CTR具有小巧体型的特点，能够在不影响工具占用空间的情况下，易于集成在半导体制造工具设计中。
机器人的结构上进行了加固的2连杆机器臂，能够在提供了快速、平稳和可重复输送满载载具所需的有效载荷能力的同时，保持紧凑的占用空间。
| 配置 | |
| 晶圆尺寸 | 300毫米晶圆盒 |
| 机器臂配置 | 双连杆：5.20"-5.20" |
| 末端执行器类型 | 重力 |
| 物理性质 | |
| 尺寸（直径/长度） | 9.76" (本体直径) |
| 垂直行程----本体高度 | 0" - 9.3" |
| 轴 | 2 - T, R |
| 运动范围 |
T: 500° R: [-10.2", 10.4"] Z: 0.00" |
| 性能 | |
| 有效载荷（动态/静态） | 33lbs |
| 重复性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" |
| 环境 | |
| 洁净度 | ISO等级1兼容 |
| 晶圆接触材料 | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸渍阳极处理AI，氧化铝，不锈钢 |
| 标准符合性 | |
| 使用指令/标准 |
机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 验证符合性的标准 |
EN 60204-1 EN 292-1 EN 292-2 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根据 SEMI E10 | >6M |
黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备，它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括：:
累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段，来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口，不需要更新机器人固件。
