EVTMHS是一种具有扩展垂直行程的晶圆输送系统，旨在使用半导体制造工具输送300毫米和450毫米晶圆（需要超大工作范围的解决方案）。
系统还可以在无需任何硬件改动的情况下输送200毫米晶圆。对于低于200毫米尺寸的晶圆，机器人末端执行器必须重新配置。重新配置用去的时间通常 是不到一个小时，包括示教所有拾取位置所需的时间。因此，通过系统固件提供的复杂autoteach例程，可以实现平均45分钟的示教时间（拾取位置）。
可选光束映射传感器考虑了FOUP和晶圆舟中正常插入，十字开槽，或双开槽的晶圆的可靠检测。根据所选择的机器臂配置，系统可以存取一个或两个联机Semi标准FOUP。从操作的角度，使用一个单一的控制器来完全整合和控制该系统。
| 配置 | |
| 晶圆尺寸 | 可达 450毫米 |
| 机器臂配置 | 7-25"-7.25" |
| 末端执行器类型 | 真空，边缘抓取，重力 |
| 晶圆映射 | 反射; 光束 |
| 物理性质 | |
| 尺寸（直径/长度） | 11.7" (长度) |
| 轴 | 3 – T,R,Z. |
| 运动范围 |
T: 500° R: [-14.25", 14.25"] Z: 40.57" |
| 性能 | |
| 有效载荷（动态/静态） | 2 Lb |
| 重复性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
| 环境 | |
| 洁净度 | ISO等级1兼容 |
| 晶圆接触材料 | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸渍阳极化处理Al，氧化铝，不锈 |
| 标准符合性 | |
| 使用指令/标准 | 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 验证符合性的标准 |
EN 60204-1:1997 EN 55011 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根据 SEMI E10 | >15M MCBF |
黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备，它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括：:
累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段，来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口，不需要更新机器人固件。
