产品特点

SortMax300<span class='small-trade'>™</span>
 

特性

  • 分拣机功能:分类,映射,直接输送,合并,分开,压缩,随机,平面/槽口对齐
  • 支持的晶圆盒类型:FOUP,FOSB,开放式晶圆盒
  • 十字槽口和双槽口晶圆的偏转
  • 操作员友好的触摸屏界面
  • 可选的主机SECS / GEM界面
  • 支持分类过程方案
  • 自动压力控制系统通过周围压力的变化,来调节风扇的转速,以保持压力设定值
  • 集成控制和监测系统
  • 装有VFD控制推进器和聚四氟乙烯介质过滤器的扇形过滤器装置
  • 符合SEMI E-44-96的安装,认证和平衡
  • SEMI S2-93A, S6-93符合性

SortMax300

Genmark自动化公司的SortMax300™是新一代的分拣机,能够生成最高生产能力的快速软件设置和实现最低经营成本,Genmark自动化公司在晶圆输送设备的设计,开发,制造方面具有25年的经验。

使用Genmark自动化公司的高精度机器人,能够实现高生产能力,包括具有专利的GPR技术机器人的机器人系列,它能够与未对齐的过程模块自动兼容互动并且能够实现大型有效载荷输送期间的偏转补偿。

SortMax300™是专门为输送300毫米晶圆和标线而设计的,可以量身定制,以容纳1至5个BOLTS兼容装载站配置中的任何组合的圆晶盒和FOUPS。SortMax300™在保持其同类中最小占用空间的同时具备优于ISO等级1微环境的特点。

 Genmark自动化公司的ECS300设备控制软件是一项标准功能,包括分类,编号,输送,压缩,对齐和合并/拆分等操作功能。

 

规格

外壳  
基架 焊接管,BOLTS兼容装载埠
涂层 烘焙粉末涂层
扇形过滤器  
扇形过滤器装置 根据客户规格
过滤介质 聚四氟乙烯ULPA的99.99995%@0.1微米的效率
晶圆尺寸 可达 300毫米
自动化  
大气机器人(类型) Grex; GB4S; GB7S; GB8; GB8SM;
末端执行器(类型) 真空抓取,边缘抓取,重力
预对准器(类型) 真空抓取夹头;边缘抓取夹头
晶圆映射 光束
用户界面 键盘,鼠标,触摸屏
软件界面 SEMI E30, E84, E87, E90, E40,E94, E99, E118, E116
通讯 RS232(秒-1),以太网(HSMS)
物理性质  
长度 两个装载埠 - 45''
三个装载埠 - 66''
四个装载埠 - 80''
空气压力:与洁净度的环境有关  
埠关闭 规格:0.01+/ - 0.005英寸W.C. (2.5+/-0.13 Pa)
装载/卸载 规格:0.01+/ - 0.005英寸W.C. (2.5+/-0.13 Pa)
ME恢复时间 <38 秒
空气流速 90+/ - 10%英尺/分钟(0.45+/ -10%米/秒)
标准符合性  
SEMI -SEMI S1-0701
-SEMI S2-1102
-SEMI S7-96
-SEMI S8-0701
-SEMI S9-1101
-SEMI S10-1296
-SEMI S13-0298
-SEMI E15-0698
-SEMI S11-1296
-SEMI E54-0997
-SEMI E57-0600
-SEMI E58-0301
-SEMI F47-0400
其他标准 CE标准,国际半导体制造联盟的集成微环境最佳设计实践
环境  
洁净度 优于 1级