제품 하이라이트

GPR<span class='small-trade'>™</span>  Vacuum Elevator
GPR<span class='small-trade'>™</span>  Vacuum Elevator
GPR<span class='small-trade'>™</span>  Vacuum Elevator
 

Features:

  •     Precise, high-resolution wafer indexing
  •     Cost-effective, seamless integration with the Genmark Automation Vacuum Robots
  •     HV-compatible – up to 10-8 torr
  •     Patented GPR technology

GPR Vacuum Elevator

GPR™ 진공 엘리베이터는 진공 공정 자본설비에서 정확하고 HV-호환의 웨이퍼 인덱싱을 제공합니다. GPR™ 진공 엘리베이터는 리프팅 플랫폼에 1.5도까지 경사를 허용하는 Genmark Automation의 혁신적인 기술을 특징으로 합니다. GPR™ 진공 엘리베이터는 16” [406 mm] 수직 인덱싱을 제공하며, 50lb까지 들어올릴 수 있습니다. 엘리베이터 translational mechanism 은 Ferro fluidic 및magnetically-coupled seals을 사용하는 대기 환경과는 분리되어 있습니다.

GPR 특허 기술을 통해 서보 제어 로봇이 misaligned cassette, FOUPS, 공정 모듈을 유연하고 지능적으로 연결할 수 있게 해줄 뿐만 아니라, 더 무거운 하중의 수송 동안 소프트웨어 제어 end-effector 편차 보정을 할 수 있게 해줍니다.

Specifications:

Configuration  
Wafer Carrier Type Wafer Cassettes and boats
Physical Properties  
Size (Diameter) 14.125"
Body Height 14.9" travel - 23.1"
16" travel - 25"
Axes 3:  Z, Z1, Z2
Range of Motion Z: 14.9", 16"
Performance  
Payload 50 lb
Base Operating Pressure 10E-10 Torr
Leak rate <1*10E-9 std cc/sec
Repeatability  
Vertical ( Z ) 0.001"
Reliability (MTBF) >000 hours
Environment  
Cleanliness < Class 1 Clean Room Compatible
Wafer contact Materials Aluminum, SS, Viton, Vacuum Grease
Standards Compliance  
Applicable Directives/Standards Machine Directive 89/392/EEC
Low Voltage Directive 73/23/EEC
89/336/EEC(EMC)
SEMI S2-93A
Standards to Verify Compliance EN 60204-1:1997
EN ISO 12100-2:2003
RIA R15.06:1999
Reliability  
Reliability per SEMI E10 >14M MCBF