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제품 -> 장비 자동화 -> 로드포트 모듈: FOUP 및 OCA -> Porta300™ plus
Porta300<span class='small-trade'>™</span> plus
 

특징:

  • Outstanding performance based on pneumatic controlled mechanisms
  • Bar-code, IR and RF carrier ID reader options
  • Built-in SEMI E84 interface
  • 8 configurable label and light signals (SEMI E87 compliant)
  • 2 optional manual access buttons
  • 150/200/300mm open cassettes adapter available
  • BOLTS interface compliance
  • Kinematic coupling for accurate mounting
  • Minimal particle, vibration and noise generation
  • Modular design, easy maintenance access
  • Fingerprint resistant finish

Conforming SEMI Standards

  • E64: Cart Docking Interface
  • E15.1: Load Port
  • S2 Compliance
  • S8 Ergonomics guideline compliance
  • E44 Guide for Procurement and Acceptance
  • of Minienvironments
  • E57 Mech. Specification for Kinematic Couplings
  • Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers
  • E10 Availablity
  • SEMI E1.9-0701 E2 - Mechanical Specification for
  • Cassettes Used to Transport and Store 300mm Wafers

Other Standards

  • Seismic Stability for UBC Zone 4 area and S2
  • EU Machinery Directive
  • EU Low voltage dir.
  • EU EMI/ESD
  • Carrier ID Reader per I300I Factory guideline

Porta300™ plus

Porta300™ plus는 300mm 웨이퍼 캐리어에 대해 향상된 로드포트입니다. Porta300™ plus 은 모든 해당 SEMI 표준 및 I300I 지침에 따르지만 독특하게 설계되었으며, 이 카테고리에서 장비에 대한 청정도, 신뢰성, 성능 및 기능성 내에서 새로운 기준으로 구성되었습니다. 최신 웨이퍼 매핑은 100% 정확성을 제공합니다. 모든 주요 동작은 공기로 제어되며, 신속하고 정확한 캐리어 적하를 가능하게 합니다. 오프너의 작동은 운영자와 장비를 보호하는 안전 연동장치를 통해 제어됩니다. 전용 through-beam 센서는 로봇 암 혹은 웨이퍼와 충돌을 피합니다. E84 커넥터는 시각 지시기에 따른 – E87 표준의 최신 개정을 준수하는 경우 - 표준 특징입니다. GB 툴박스 내에 통합된 이 소프트웨어는 포괄적인 진단 기능과 사용자 친화적 인터페이스를 제공합니다.

Specification:

Configuration Porta300 plus
Compatibility BOLTS compatible
Carrier Types - FOUP, 25 wafers
- FOSB, 25 wafers
- 25 wafers 150mm and 200mm cassettes when using open cassette adaptor
Wafer Size 150mm, 200mm, 300mm
Substrate Type Wafer
Status Indicators Eight lights, custom configurable
Operator Push Buttons Two - load and unload (can be custom configured)
Carrier Sensors Present, placed
Wafer Mapping Through-beam
Carrier ID reader/writer IR, RF, Bar code
Physical Properties  
Clamping Mechanism  - Pneumatically actuated keys opening the FOUP door
 - Pneumatically actuated FOUP lock
Height 1410mm (55.51 inches) With cart
1340mm (52.76 inches) Without cart
Width 476mm (18.74 inches)
Actuation All Major Axis are Pneumatically actuated and controlled.
Performance  
Reliability - MTBF > 150,000 HR
- MCBF > 25 M CYCLES
- Availability 99.9%
Speed Load: <10 seconds without map
Load:  <10 seconds with map
Unload: <10 seconds
Environment  
Cleanliness Class 1 ANSI, when in class 100 environment
Standards Compliance  
SEMI  - E64: Cart Docking Interface
 - E15.1: Load Port
 - E62,
 - E63,
 - E84
 - S8 Ergonomics guideline compliance
 - E44 Guide for Procurement and Acceptance of Minienvironments
 - E57 Kinematic Couplings
Other Standards - Seismic Stability for UBC Zone 4 area and S2
- EU Machinery Directive
- EU Low voltage dir.
- EU EMI/ESD
- Carrier ID Reader per I300I Factory guideline
Reliability per SEMI E10  
MCBF (cycles) - MTBF > 150,000 HR
- MCBF > 25 M CYCLES
- Availability 99.9%