GPR-GB7SY Yaw-축(단일 혹은 이중 yaw) 로봇은 아주 신뢰성 있고 정확하게 450mm 웨이퍼까지 수송할 수 잇는 자동화 웨이퍼 핸들러에서 사용할 수 있는 최고 수준의 성능을 얻기 위해 GPR 및 YAW 특허 기술을 포함한 Genmark의 기술적으로 향상된 메커니즘을 특징으로 하고 있습니다.
Genmark의 개방 Cassette 어댑터(OCA)는 신규 장비에 대해 오래된 개방 웨이퍼 Cassette를 사용할 수 있게 해주는 로드포트 장비의 옵션입니다. OCA는 현재 대부분의 장비들이 최적화 된 Class 1의 환경을 이용 할 수 있게 합니다. 이를 통해 최종 사용자는 시설 업그레이드에 대한 재정적 어려움 없이 신규 기술을 이용하기 위해 개방형 Cassette 기술을 여전히 사용할 수 있게 합니다.
