Cassette Transport Robot Features
Genmark의 GB4S-CTR 웨이퍼 캐리어 수송 로봇은 사용자 정의 스테이션에 빠르고 신속하게 300mm 크기 까지의 웨이퍼를 캐리어로 수송하기 위해 설계되었습니다. 사용 분야에는 stocker bay load 및 unloading 뿐만 아니라 장비 로드 포트와 처리실 사이의 intra-bay Cassette 수송이 포함됩니다. GB4S-CTR의 간결한 크기를 통해 장비 풋프린트에 영향을 주지 않고 반도체 제조 장비 설계에 쉽게 통합될 수 있습니다.
구조적으로 재강화된 로봇의 2-링크 팔은 콤팩트한 풋프린트를 유지하는 반면, 충분히 하중된 캐리어의 신속하고, 매끄럽고, 반복 수송에 필요한 적재량을 제공합니다.
| Configuration | |
| Wafer size | up to 300mm wafer cassettes |
| Arm Configuration(s) | 2 link: 5.20"-5.20"; |
| End Effectors Types | Gravity |
| Physical Properties | |
| Size (Diameter/Length) | 9.76" (body DIA) |
| Vertical stroke - body height | 0" - 9.3" |
| Axes | 2 - T, R |
| Range of Motion |
T: 500° R: [-10.2", 10.4"] Z: 0.00" |
| Performance | |
| Payload (Dynamic/Static) | 33lbs |
| Repeatability |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" |
| Environment | |
| Cleanliness | ISO Class 1 Compatible |
| Wafer contact Materials | Vespel, Peek, Teflon impregnated anodized AI, Alumina, Stainless Steel |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204-1 EN 292-1 EN 292-2 |
| Reliability | |
| Reliability per SEMI E10 | >6M |
블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.
누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.
블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.
