이 remote 측정 장치는 3개의 CCD(전하결합소자)로 구성되어 있으며 flat panel의 위치와 방향을 판별하기 위해 flat panel 핸들링 로봇과 함께 작동하도록 설계되었습니다. CCD 구역 내부의 flat panel의 최종 이동 및 flat panel의 조정 잘못된 얼라이먼트은 즉각 CCD 판독에 기반하여 계산됩니다. 잘못된 얼라이먼트의 보정은 대상의 목표 cassette 혹은 공정 스테이션으로 수송하는 동안 완료될 수 있습니다.
| Works with | Flat panels |
| Wafer size |
- Min panel size : 125 mm x 125mm - Max panel size : not restricted |
| Alignment Accuracy | |
| Center Offset | 0.0015" |
| Angular Offset | 0.1 degrees |
| Alignment time | 3 sec |
| Initial Offset Allowance | 0.5" |
| Servo Light-house Gap | 0.35", 0.5" |
| Maximum Vertical Velocity | 20"/s |
| Maximum Vertical Acceleration | 40"/s2 |
| Physical Properties | |
| Vertical travel-body height |
8.5" - 14" 13"- 18.5" 16" – 25.35" |
| Length | 12.8" |
| Width | 4.4" |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC (EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204- 1:1997 EN ISO 12100- 2:2003 RIA R15.06:1999 |
| Reliability | |
| Reliability per SEMI E10 / MCBF | >20M |
본 측정 장치는 CCD 카메라를 이동할 수 있는 2개의 자유도 로봇 암으로 구성되어 있습니다. 이는 CCD 내부의 flat panel의 위치를 매우 정확하게(±0.001") 잡기 위해 flat panel 핸들링 로봇과 결합하여 작동합니다. CCD 구역은 조정 가능하며 이를 통해 광범위한 flat panel의 얼라이머트를 할 수 있습니다. 얼라이먼트 이후, CCD 암은 flat panel의 이후 조작을 위해 얼라이먼트 영역에서 세이프티 위치로 이동됩니다.
Align 시간 < 5.0초
Align 정확도- X, Y ±0.002"
O ±0.125° 포착범위 / 초기 오프셋 허용 ± 0.500"
Substrate 크기: 20mm x 340mm, 360mm x 450mm, 500mm x 500mm, 600mm x 600mm, 650mm x 700mm, 760mm x 760mm
