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Genmark Automation은 분 시간에서 일반적인 반도체 제조 도구를 조정하는데 필요한 시간을 절감하기 위한 기술을 제공합니다.
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Edge-Grip 프리얼라이너는 Genmark의 Edge-Grip End Effector와 결합했을 때에 정확하고 효율적인 웨이퍼 배치를 가능하게 하고 놀라운 성능을 제공하는 자동화 장비입니다.
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원격 프리 얼라이너(RPA)는 지능형 로봇 add-on이며, Substrate 위치의 편심률과 방향을 정밀하게 비접촉 상태로 측정합니다.
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Stand-Alone 프리얼라이너는 지능형 장비이며, Substrate 위치의 편심률과 방향을 정확하게 비접촉 상태로 측정합니다.
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RIVP는 진공 로봇과 함께 사용되도록 설계되었으며, 진공 상태에서 Substrate 위치의 편심률과 방향을 정확하게 비접촉 상태로 측정합니다.
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이 Remote 측정 장치는 3개의 CCD(전하결합소자)로 구성되어 있으며 평판의 위치와 방향을 판별하기 위해 평판 핸들링 로봇과 함께 작동하도록 설계되었습니다.
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