Genmark의 SortMax300 HTTM은 엄격한 신뢰성 및 청정도 규격 하에 운영되며 최고의 웨이퍼 시간당 처리량 요건을 달성할 수 있습니다. 모듈형 설계에 기반하여 8 FOUP/FOSB 스테이션까지 설정을 지원할 수 있습니다. 최고의 처리량 용량은 Genmark의 입증된 GREX 이중 팔 로봇 시리즈에 기반하여 독자적으로 설계된 Dual End Effector 웨이퍼 운송 메커니즘 등 확장된 기술 특성의 결과입니다.
SortMax300 HC™는 또한 고도로 향상된 기능성과 신뢰성을 제공하고 신속한 소프트웨어 설정에 따라 고도로 섬세한 ECS300 장비 제어 소프트웨어 최신 공장 요건에 대해 내장지원 하도록 확대되었습니다. Auto-teach 스크립트는 웨이퍼-핸들러 Teaching 공정을 더 단순화하고, 조작자 인터페이스를 최적화하고 유지보수 기간 동안 다운시간을 줄여 줍니다..
300mm 웨이퍼를 처리하기 위해 설계된 Genmark의 고용량 웨이퍼 분류기는 표준 혹은 커스텀 설정으로 제공됩니다. 다양한 End Effector, 웨이퍼 Mapper, 얼라이너는 많은 옵션 중 몇 가지입니다.
| Enclosure | |
| Base Frame | Welded steel, BOLTS compatible load ports |
| Coating | Baked powder coat |
| Capacity (Stocker) | Up to 8 Loadports |
| Fan Filter | |
| Fan Filter Unit | Per customer specification |
| Filter Media | PTFE ULPA 99.99995% @ 0.1 micro meters efficiency |
| Wafer Size | Up to 300 mm |
| Automation | |
| Atmospheric Robot (types) | Grex4 |
| End Effector (types) | Vacuum gripping, Edge gripping |
| Pre-Aligner types | Vacuum gripping chuck; edge gripping chuck |
| Wafer Mapping | Through-beam |
| User Interface | Keyboard, mouse, touch screen |
| Software Interface | SEMI E30, E84, E87, E90, E40, E94, E99, E118, E116 |
| Communications | RS232 (SECS-I), Ethernet (HSMS) |
| Physical Properties | |
| Length |
Two load ports – 45" Three load ports – 66" Four load ports – 80" |
| Air Pressure: Relative to Cleanroom Ambient | |
| Port closed | Spec: 0.01 +/- 0.005 inches w.c., (2.5 +/- 0.13Pa) |
| Load/Unload | Spec: 0.01 +/- 0.005 inches w.c., (2.5 +/- 0.13Pa) |
| ME Recovery time | < 38 sec |
| Air Flow Velocity | 90 +/- 10% ft/min, (0.45 +/- 10% m/sec) |
| Standards Compliance | |
| SEMI |
- SEMI S1-0701 - SEMI S2-1102 - SEMI S7-96 - SEMI S8-0701 - SEMI S9-1101 - SEMI S10-1296 - SEMI S13-0298 - SEMI E15-0698 - SEMI E44-96 - SEMI E54-0997 - SEMI E58-0301 - SEMI F47-0400 |
| Other Standards | CE Standards, International Sematech Integrated Minienvironment Best Design Practices. |
| Environment | |
| Cleanliness | Class 1000 or better |
