AVR-2000 진공 로봇 시스템은 극도로 청결하고 진공 공정 환경에서 매우 정확하고 신뢰성 있는 수송을 제공합니다.

Genmark의 신규 로봇 시리즈인 G-Rex™는 표준 하중 300mm 및 450mm 웨이퍼 수송 도구 분야에 대한 현재 기술 규격을 다루며, 현재 시장에서 사용할 수 있는 가장 정확하고 처리량이 높은 대기로봇 솔루션입니다.

GPR-GB7SY Yaw-축(단일 혹은 이중 yaw) 로봇은 아주 신뢰성 있고 정확하게 450mm 웨이퍼까지 수송할 수 잇는 자동화 웨이퍼 핸들러에서 사용할 수 있는 최고 수준의 성능을 얻기 위해 GPR 및 YAW 특허 기술을 포함한 Genmark의 기술적으로 향상된 메커니즘을 특징으로 하고 있습니다.