GPR-SMV真空機器人系統是一個高性能的雙臂真空機器人，采用了Genmark自動化公司的突破性專利GPR™技術。.
GPR-SMV真空機器人系統結合了雙連桿機械臂的功能，以便在真空下降至10E-10 Torr時隨著在過程室、源晶圓盒等處進行晶圓交換的連桿機械臂的運動而準確、可重復的引導和輸送半導體晶圓。
機器人具有結構簡單，模塊化設計，易於控制，示教和編程的特點。連續平滑軌跡的高級運動規劃保證了卓越的性能以及各種後端布局中的有效實施。
專利的GPR技術，使伺服控制機器人與未對齊的晶圓盒，FOUPS和過程模塊相兼容並且智能地接口，並且在大型有效載荷輸送過程中提供軟件控制的末端執行器的偏轉補償。
| 配置 | |
| 晶圓尺寸 | 可達 450毫米 |
| 機器臂配置 | 2 連桿 6.5"-6.5" |
| 末端執行器類型 | 重力 |
| 物理性質 | |
| 尺寸（直徑） | 14" |
| 本體高度 | 24.1" |
| 軸 | 6: T, R, R2, Z, Z1, Z2 |
| 運動範圍 |
T: 360° R 和 R2: - 6.5"-6.5": [- 12.8", 12.8"] Z: 3" 傾斜： 1.0° |
| 性能 | |
| 有效載荷 | 12 lb |
| 基本工作壓力 | 10E-10 Torr |
| 泄漏率 | <1*10E-9 std cc/sec |
| 重復性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" R2: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
| 徑向 ( R ) | 0.001" |
| 旋轉( T ) | 0.01° |
| 垂直( Z ) | 0.001" |
| 可靠性 (MTBF) | > 80,000 小時 |
| 環境 | |
| 潔凈度 | < 1級潔凈室兼容 |
| 晶圓接觸材料 | 鋁，SS，氟化橡膠，真空潤滑脂 |
| 標準符合性 | |
| 使用指令/標準 | 機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 驗證符合性的標準 |
EN 60204-1:1997 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根據 SEMI E10 | >14M MCBF |
黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備，它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括：:
累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段，來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口，不需要更新機器人固件。
