AVR-3000真空機器人系統提供了超潔凈，高真空處理環境下的高精確性和可靠性的輸送。 AVR-3000可以在10E-10 Torr情況下使用，縱軸的運動範圍是6.0英寸。
特別的運動學和運動傳送設計保證了機器臂的快速運動，零間隙，保證了防止過度外部受力（施加於連桿的）的堅固性。
針對具有重疊流速剖面的多段軌跡而進行的高級運動協調，保證了順利和有效的材料輸送。
AVR-3600具有0.5英寸垂直行程，並提供各種末端執行器選擇，使得機器人輸送多種300毫米晶圓，光罩和FPD到達一個擴展的徑向輸送距離。
| 配置 | |
| 晶圓尺寸 | 可達450毫米的晶圓 盤片和其他附著物 |
| 機器臂配置 |
2 連桿 5.25"-5.25" 2 連桿 7.5"-7.5" 2 連桿 10.5"-10.5" 2 連桿 12.5"-12.5" |
| 末端執行器類型 | 重力 |
| 物理性質 | |
| 尺寸（直徑） | 9.83" |
| 本體高度 | 18" |
| 軸 | 3: T, R, Z |
| 運動範圍 |
T: 500° R: - 5.25"-5.25: -7.5", 10.5" - 7.5"-7.5": +/- 20" - 10.5"-10.5": +/- 20" - 12.5-12.5":+/-24" Z: 6.0" |
| 性能 | |
| 有效載荷 | 5lb |
| 基本工作壓力 | 10E-10 Torr |
| 泄漏率 | <1*10E-9 std cc/sec |
| 重復性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
| 徑向 ( R ) | 0.001" |
| 旋轉( T ) | 0.01° |
| 垂直( Z ) | 0.001" |
| 可靠性 (MTBF) | > 80,000 小時 |
| 環境 | |
| 潔凈度 | < 1級潔凈室兼容 |
| 晶圓接觸材料 | 鋁，SS，氟化橡膠，真空潤滑脂 |
| 標準符合性 | |
| 使用指令/標準 | 機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 驗證符合性的標準 |
EN 60204-1:1997 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根據 SEMI E10 | >12.7M MCBF |
黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備，它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括：:
累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段，來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口，不需要更新機器人固件。
