產品特點

AVR 2000 Vacuum Robot System (300mm)
 

特性:

  • 超高真空兼容(符合10E-10 Torr)
  • 小於1級潔凈室兼容
  • 快速,無振動材料輸送的基於DSP的運動控制

AVR 2000 Vacuum Robot System (300mm)

AVR-2000真空機器人系統提供了超潔凈,高真空處理環境下的高精確性和可靠性的輸送。

特別的運動學和運動傳送設計保證了機器臂的快速運動,零間隙,保證了防止過度外部受力(施加於連桿的)的堅固性。

針對具有重疊流速剖面的多段軌跡而進行的高級運動協調,保證了順利和有效的材料輸送。

AVR-2000具有0.5英寸垂直行程,並提供各種末端執行器選擇,使得機器人輸送多種300毫米晶圓,光罩和FPD到達一個擴展的徑向輸送距離。

規格:

配置  
晶圓尺寸 可達 300毫米
機器臂配置 2 連桿 8"-8"
末端執行器類型 重力
物理性質  
尺寸(直徑/長度) 9.8"
本體高度 10.89"
2: T, R
運動範圍 T: 190°
R: -8.2", 15.5'
Z: 0"
性能  
有效載荷 5lb
基本工作壓力 10E-10 Torr
泄漏率 <1*10E-9 std cc/sec
重復性 T: +/- 0.01°
R: +/-0.001"
徑向 ( R ) 0.001"
旋轉( T ) 0.01°
可靠性 (MTBF) > 80,000小時
環境  
潔凈度 <1級潔凈室兼容
晶圓接觸材料 鋁,SS,氟化橡膠,真空潤滑脂
標準符合性  
使用指令/標準 機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2 - 93A
驗證符合性的標準 EN 60204-1:1997
EN ISO 12100-2:2003
RIA R15.06:1999
可靠性  
可靠性根據 SEMI E10 >12.7M MCBF

黑盒選項:

黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備,它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括::

  • 設備的正常運行時間,停機時間,制造時間和總運行時間。數據符合SEMI E10-0701標準。
  • 每個電機的轉數
  • 因機器人碰撞造成的超速/加速或過載的故障數  
  • 機器人的具體信息,如序列號,校準數據和額外的統計數據。

累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段,來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。

黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口,不需要更新機器人固件。

黑盒規格.

  • 觀察到的機數量:8
  • 存儲介質:64KB閃存
  • 數據保存時間:10年以上
  • 通訊接口:RS232,以太網(可選)。