Porta300™ plus是一種輸送300毫米晶圓載具的高級裝載埠，符合所有適用的SEMI標準和I300I指南的獨特設計，Porta300™ plus設 置了這一類設備的潔凈，可靠性，性能和功能的新基準。最先進水平的晶圓映射提供了100％的準確率。所有主要運動均采用氣動控制，以提供快速，精確的載具 裝載。開啟工具的操作由一套完整的安全聯鎖來控制，能夠保護操作人員和設備。一套專用的光束傳感器能夠避免與機械臂或晶圓發生碰撞。E84連接器是一個標 準功能，包括視覺指標器 – 其提供符合最新版本的E87標準。集成在GB工具箱中的軟件支持，提供了簡單而全面的診斷功能和用戶友好的操作界面。
| 配置 | Porta300 plus |
| 兼容性 | BOLTS 兼容 |
| 載具類型 |
- FOUP, 25晶圓 - FOSB, 25晶圓 - 使用開放式晶圓盒適配器時，25毫米晶圓和150毫米和200毫米晶圓盒 |
| 晶圓尺寸 | 150毫米, 200毫米, 300毫米 |
| 基板類型 | 晶圓 |
| 狀態指示燈 | 8個燈，自定義配置 |
| 操作按鈕 | 2個：裝載和卸載（可以自定義配置） |
| 載具傳感器 | 存在，安置 |
| 晶圓映射 | 光束 |
| 載具ID讀/寫 | IR, RF, 條形碼 |
| 物理性質 | |
| 夾緊機構 |
- 氣動驅動鑰匙打開FOUR門 - 直流電動機驅動FOUR鎖 |
| 高度 |
-帶有小車 1410毫米（55.51英寸） - 無小車1340毫米（52.76英寸） |
| 寬度 | 476毫米 (18.74 英寸) |
| 驅動 | 所有主要的軸采用氣動驅動和控制 |
| 性能 | |
| 可靠性 |
- MTBF > 150,000 HR - MCBF > 25 M 周期 - 可用性 99.9% |
| 速度 |
裝載：<10秒，沒有映射 裝載：<10秒，有映射 卸載：<10秒 |
| 環境 | |
| 潔凈度 | 在100級環境情況下的1級ANSI |
| 標準符合性 | |
| SEMI |
- E64:小車轉運接口 - E15.1: 裝載埠 - E62, - E63, - E84 - S8 工效指南符合性 - E44 微環境下的采購和驗收指南 - E57 運動聯軸器 |
| 其他標準 |
- UBC Zone 4區和S2區的抗震穩定性 - 歐盟機械指令 - 歐盟低電壓指令 - EU EMI/ESD - 符合I300I工廠指南的載具ID讀取器 |
| 可靠性根據 SEMI E10 | |
| MCBF (周期) |
- MTBF > 150,000 HR - MCBF > 25 M 周期 - 可用性 99.9% |
