產品特點

GB4P Robot System
 

特性

  • 集成式預對準模塊
  • 用於晶圓直徑2英寸到8英寸的可調燈塔
  • 快速,準確,可重復輸送晶圓和標線
  • 擴展的輸送距離和垂直行程選項
  • 無振動晶圓輸送的基於DSP的運動控制器
  • 多段連續軌跡控制
  • 快,慢掃描模式下的可選的掃描功能
  • 快,慢掃描模式下的可選的掃描功能

GB4P Robot System

裝有集成的晶圓預對準器的GB4P機器人系統,是目前市場上能夠提供,用於可達200毫米晶圓輸送應用、標準有效載荷和生產量的最緊湊型機器人和預對準器包裝。

大小與Genmark自動化公司的原GB4機器人相同,GB4P裝有晶圓直徑從2英寸到8英寸所用的一個內置預對準器。預對準器的調節功能考慮到不同晶圓尺寸的簡單而快速的配置。GB4P機器人是專門為單或雙晶圓輸送而設計的,適用於多種輸送距離和垂直行程的組合。

Genmark 自動化公司的GB4P機器人系統是一個高度精確,可重復和可靠的晶圓(尺寸可達200毫米)輸送和對齊解決方案。

規格

配置  
機器臂配置 5.25"-5.25"; 7.25" -7.25"; 4"-8"-4"
末端執行器類型 真空,邊緣抓取,重力
晶圓映射 反射; 光束
物理性質  
尺寸(直徑/長度) 9.76" (本體直徑)
垂直行程---本體高度 7" - 13.5"
8.5" - 14.3"
12" - 17.85"
17" - 23.5"
20" - 26.5"
5:
機器人 - T,R,Z軸
預對準器- V(垂直),P(夾頭旋轉)
運動範圍 T: 500°
R:
- 5.25"-5.25": [-10.5", 10.5"]
- 7.25"-7.25"; [-14.5", 14.5"]
- 4"-8"-4": [-16", 16"]
Z: 7"; 8.5"; 12"; 17"; 20"
性能  
有效載荷(動態/靜態) 2lbs
重復性 T: +/- 0.01°
R: +/- 0.001"
Z: +/- 0.001"
環境  
潔凈度 ISO等級1兼容
晶圓接觸材料 Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸漬陽極處理AI,氧化鋁,不銹鋼
標準符合性  
使用指令/標準 機器指令89/392/EEC
低電壓指令73/23/EEC
89/336/EEC(EMC)
SEMI S2-93A
驗證符合性的標準 EN 60204-1
EN 292-1
EN 292-2
恢復  
可靠性根據 SEMI E10 >15M MCBF

黑盒選項:

黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備,它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括:

  • 設備的正常運行時間,停機時間,制造時間和總運行時間。數據符合SEMI E10-0701標準。
  • 每個電機的轉數
  • 因機器人碰撞造成的超速/加速或過載的故障數
  • 機器人的具體信息,如序列號,校準數據和額外的統計數據。

累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段,來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。

黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口,不需要更新機器人固件。

黑盒規格

  • 觀察到的機數量:8
  • 存儲介質:64KB閃存
  • 數據保存時間:10年以上
  • 通訊接口:RS232,以太網(可選)。