晶圓盒輸送機器人的特點
Genmark 公司的GB4S CTR晶圓載具輸送機器人，用於尺寸達300毫米晶圓載具的輸送（快速準確地用戶定義站之間）。應用包括堆放隔間裝載和卸載，以及工具裝載埠和過程室之間 的隔間內部的晶圓盒輸送。GB4S CTR具有小巧體型的特點，能夠在不影響工具占用空間的情況下，易於集成在半導體制造工具設計中。
機器人的結構上進行了加固的2連桿機器臂，能夠在提供了快速、平穩和可重復輸送滿載載具所需的有效載荷能力的同時，保持緊湊的占用空間。
| 配置 | |
| 晶圓尺寸 | 300毫米晶圓盒 |
| 機器臂配置 | 雙連桿：5.20"-5.20" |
| 末端執行器類型 | 重力 |
| 物理性質 | |
| 尺寸（直徑/長度） | 9.76" (本體直徑) |
| 垂直行程----本體高度 | 0" - 9.3" |
| 軸 | 2 - T, R |
| 運動範圍 |
T: 500° R: [-10.2", 10.4"] Z: 0.00" |
| 性能 | |
| 有效載荷（動態/靜態） | 33lbs |
| 重復性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" |
| 環境 | |
| 潔凈度 | ISO等級1兼容 |
| 晶圓接觸材料 | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸漬陽極處理AI，氧化鋁，不銹鋼 |
| 標準符合性 | |
| 使用指令/標準 |
機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 驗證符合性的標準 |
EN 60204-1 EN 292-1 EN 292-2 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根據 SEMI E10 | >6M |
黑盒子是機器人本體內安裝的一個小型電子設備，它收集和存儲有關機器人作業的關鍵信息。保存的信息包括：:
累計的信息提供預防性維護程序所必要的客觀標準。使用的數據可用於潤滑附表或皮帶和電機更換。上述信息考慮了根據實際使用而不是僅僅在一個固定的時間段，來調整機器人的保修期限。此功能可以延長使用中沒有激活的機器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自動化機器人。它有自己的接口，不需要更新機器人固件。
