這種分離式測量裝置，包括3個CCD（電荷耦合器件），旨在與平板輸送機器人一道工作，以確定平板的位置和方向。根據CCD（電荷耦合器件）的讀數，立即計算出CCD區域內的平板的最後運動和平板的不對齊。對象輸送到目標晶圓盒或過程站的過程中，可以實現不對齊的補償。
| 適用於 | 平板 |
| 晶圓尺寸 |
- 最小平板尺寸：125毫米x 125毫米 - 最大平板尺寸：不限制 |
| 平坦，槽口 | |
| 中心偏移量 | 0.0015" |
| 角偏移量 | 0.1 度 |
| 對準時間 | 3 秒 |
| 初始偏移容差 | 0.5" |
| 伺服燈塔間距 | 0.35", 0.5" |
| 最大垂直速度 | 20"/s |
| 最大垂直加速度 | 40"/s2 |
| 物理性質 | |
| 垂直行程-本體高度 |
8.5" - 14" 13"- 18.5" 16" – 25.35" |
| 長度 | 12.8" |
| 寬度 | 4.4" |
| 標準符合性 | |
| 使用指令/標準 | 機器指令89/392/EEC 低電壓指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 驗證符合性的標準 |
EN 60204- 1:1997 EN ISO 12100- 2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根據 SEMI E10 / MCBF | >20M |
本測量單元包括攜帶CCD攝像機的兩個單自由度機器臂。它與平板輸送機器人一道工作，以便高精確度（±0.001英寸）地將平板定位在電荷耦合器件 （CCD）區域內，CCD區域是可調的，允許大範圍的平板對齊。對齊之後，兩個CCD機器臂收回，以清除對齊區，從而進一步地操縱平板。
對準時間<5.0秒
對準精度 - ，X，Y±0.002″
ر0.125°捕捉範圍/初始偏移容差±0.500英寸
基板尺寸：20×340毫米，360毫米x450毫米，500毫米x 500毫米，600毫米x 600毫米，650毫米x700毫米，760毫米x760毫米
