運動控制部件

目前發展水平運動控制功能

• 控制多功能機器人結構，包括“偏轉”，“節距”和“滾動”的運動功能
• 基於多項式樣條和貝茲曲線的S曲線速度分布圖
• 多區段流暢軌跡的連續路徑控制
• 多個軸的同步
• 用戶定義的速度分布圖的軌跡控制
• 開環和閉環機構的運動建模
• 奇點一致路徑規劃和奇點避免
• 優化的PID濾波器調整
• 與周邊設備（晶圓盒，過程站等）有關的自動調整與周邊設備（晶圓盒，過程站等）有關的自動調整
• 末端執行器框架的傾斜功能
• 末端執行器和操作對象的偏轉補償，手臂掃描的幾何精度和校準功能
• 基於通過光束或反射傳感器的晶圓映射
• 晶圓和FPD的平整度和中心的自動檢測
• 非接觸式平板調整。行程安全的偏心補償
• 可編程的行程限制
• 位置跟蹤錯誤檢測
• 放大器超載保護
• 緊急停止