產品特點

Vacuum Cluster Integration System (300/450mm)
Vacuum Cluster Integration System (300/450mm)
Vacuum Cluster Integration System (300/450mm)
Vacuum Cluster Integration System (300/450mm)
 

特性

  • 為了支持多步驟的晶圓過程,靈活真空輸送室考慮采用5至8個過程
  • 定制的晶圓冷卻站適應所有冷卻要求,能夠產生更高的生產能力。
  • 支持所有低到高壓的真空處理
  • 加工所有的基板尺寸,以適應所有的晶圓處理
  • 符合1級潔凈室要求,以確保極端嚴格的潔凈度和最終的性能
  • 提供前端和真空輸送室內安裝的頂部或底部機器人的選擇

 

優勢

  • 提高工廠的生產力和制造產能
  • 改善設施和設備的利用率
  • 降低制造成本
  • 保護有價值的晶圓

Vacuum Cluster Integration System (300/450mm)

Genmark真空簇集成系統是將最新的自動化技術融入其工廠自動化解決方案系列中。作為一種完整的交鑰匙解決方案,可根據客戶實際的自動化要求對真空簇工具集成系統進行專門配置。

真空簇工具集成系統包括客戶專用的真空室,Genmark自動化公司的MiniMax前端模塊(EFEM),加載鎖定選項,集成真空晶圓輸送解決方案,所有由Genmark自動化公司的最新ECS300自動化軟件套件進行控制。

集成的真空晶圓輸送解決方案,包括具有專利GPR技術的機器人,是基於6個自由度的伺服控制系統,它可以兼容和智能地與未對齊的過程模塊相互作用,並且在大型有效載荷輸送期間提供軟件控制的最終末端執行器的偏轉補償。

集成的Minimax EFEM系統裝有機器人輸送工具,其中包括專利的GPR和偏轉技術。專利偏轉技術能夠使得EFEM系統中安裝的晶圓輸送機器人從一個固定的集中位置存取聯機的FOUPS和晶圓盒,並且消除了機器人周圍的該過程和其他各站的徑向安置需要。

規格:

外殼  
基架 焊接鋼
塗層 烘焙粉末塗層
晶圓尺寸 達 450 毫米
自動化  
大氣機器人(類型) AVR 3000, GPR-SMV
末端執行器(類型) 重力
預對準器(類型) 真空預對準器 (選項)
有效載荷 多達20磅
自動示教 (選項) 簡化站的示教和節省時間
簇工具控制器 協調工具中集成的所有設備的操作,與過程模塊,FAB主機和操作人員接口
物理性質  
直徑 44.25"
空氣壓力:與潔凈室環境有關
加載埠關閉 65+/-5 psig
加載/卸載 65+/-5 psig
標準符合性  
SEMI

-SEMI S1-0701 -設備安全標簽的安全指南

- SEMI S2-1102 -半導體制造設備的環境,安全和健康指南

- SEMI S7-96 - 半導體制造設備的環境,安全和健康(EHS)評估的安全指南

-  SEMI S8-0701 -半導體制造設備工程的人類工效學/人因工程學的安全指南

- SEMI S9-1101 - 半導體制造設備的電氣設計驗證測試的安全指南

- SEMI S10-1296 -風險評估的安全準則

- SEMI S13- 0298 –半導體制造設備所用的操作和維修手冊的安全指南

- SEMI E 20-0697 -簇工具模塊接口:電力和緊急關閉標準

- SEMI 21-94 - 簇工具模塊接口:機械接口和晶圓輸送標準

- SEMI E24-92 - 簇工具模塊接口:隔離閥聯鎖標準

- SEMI E25-92 -簇工具模塊接口:模塊存取指南

- SEMI E26-92 - 徑向簇工具軌跡標準

- SEMI S11-1296 - 半導體制造設備微環境的環境,安全與健康指南

- SEMI E54-0997 - 傳感器/執行器網絡標準

- SEMI E57-0600 -用於對齊和支撐300毫米晶圓載具的運動聯軸器的機械規範

- SEMI E58-0301 – 自動化的可靠性,可用性和可維護性標準(ARAMS):概念,特性和服務

-  SEMI F47-0400 -電壓驟降抗擾度規範
其他標準 CE標準,國際半導體制造聯盟的集成微環境最佳設計實踐
環境  
潔凈度 優於1級
真空室  
工作範圍  -低壓:10E至10E-2 Torr
 - 高壓:10E至210E2 Torr
真空室材料 鋁 6061-T6
視埠材料 zelux(光學級),7056玻璃
極限真空度 優於10-6 Torr(渦輪泵,ISO100埠)
傳送閥 標準50×336毫米
晶圓存在傳感器 嵌入工具中
機器人安裝 可以頂部或底部的機器人安裝
真空機器人類型 適合單臂或雙臂真空機器人