產品特點

SortMax300<span class='small-trade'>™</span>
 

特性

  • 分揀機功能:分類,映射,直接輸送,合並,分開,壓縮,隨機,平面/槽口對齊
  • 支持的晶圓盒類型:FOUP,FOSB,開放式晶圓盒
  • 十字槽口和雙槽口晶圓的偏轉
  • 操作員友好的觸摸屏界面
  • 可選的主機SECS / GEM界面
  • 支持分類過程方案
  • 自動壓力控制系統通過周圍壓力的變化,來調節風扇的轉速,以保持壓力設定值
  • 集成控制和監測系統
  • 裝有VFD控制推進器和聚四氟乙烯介質過濾器的扇形過濾器裝置
  • 符合SEMI E-44-96的安裝,認證和平衡
  • SEMI S2-93A, S6-93符合性

SortMax300

Genmark自動化公司的SortMax300™是新一代的分揀機,能夠生成最高生產能力的快速軟件設置和實現最低經營成本,Genmark自動化公司在晶圓輸送設備的設計,開發,制造方面具有25年的經驗。

使用Genmark自動化公司的高精度機器人,能夠實現高生產能力,包括具有專利的GPR技術機器人的機器人系列,它能夠與未對齊的過程模塊自動兼容互動並且能夠實現大型有效載荷輸送期間的偏轉補償。

SortMax300™是專門為輸送300毫米晶圓和標線而設計的,可以量身定制,以容納1至5個BOLTS兼容裝載站配置中的任何組合的圓晶盒和FOUPS。SortMax300™在保持其同類中最小占用空間的同時具備優於ISO等級1微環境的特點。

 Genmark自動化公司的ECS300設備控制軟件是一項標準功能,包括分類,編號,輸送,壓縮,對齊和合並/拆分等操作功能。

 

規格

外殼  
基架 焊接管,BOLTS兼容裝載埠
塗層 烘焙粉末塗層
扇形過濾器  
扇形過濾器裝置 根據客戶規格
過濾介質 聚四氟乙烯ULPA的99.99995%@0.1微米的效率
晶圓尺寸 可達 300毫米
自動化  
大氣機器人(類型) Grex; GB4S; GB7S; GB8; GB8SM;
末端執行器(類型) 真空抓取,邊緣抓取,重力
預對準器(類型) 真空抓取夾頭;邊緣抓取夾頭
晶圓映射 光束
用戶界面 鍵盤,鼠標,觸摸屏
軟件界面 SEMI E30, E84, E87, E90, E40,E94, E99, E118, E116
通訊 RS232(秒-1),以太網(HSMS)
物理性質  
長度 兩個裝載埠 - 45''
三個裝載埠 - 66''
四個裝載埠 - 80''
空氣壓力:與潔凈度的環境有關  
埠關閉 規格:0.01+/ - 0.005英寸W.C. (2.5+/-0.13 Pa)
裝載/卸載 規格:0.01+/ - 0.005英寸W.C. (2.5+/-0.13 Pa)
ME恢復時間 <38 秒
空氣流速 90+/ - 10%英尺/分鐘(0.45+/ -10%米/秒)
標準符合性  
SEMI -SEMI S1-0701
-SEMI S2-1102
-SEMI S7-96
-SEMI S8-0701
-SEMI S9-1101
-SEMI S10-1296
-SEMI S13-0298
-SEMI E15-0698
-SEMI S11-1296
-SEMI E54-0997
-SEMI E57-0600
-SEMI E58-0301
-SEMI F47-0400
其他標準 CE標準,國際半導體制造聯盟的集成微環境最佳設計實踐
環境  
潔凈度 優於 1級