Mini-Max™ [EFEM]

Genmark自動化公司的MiniMax™設備前端模塊（EFEM）是為了最大限度地提高要求最高自動化水平的半導體加工設備的生產效率的1級微環境系統。

MiniMax™能夠定制，以滿足任何半導體制造工具應用的自動化要求，並且指定使用一種Genmark自動化公司的復雜而精確的晶圓和標線輸送機器人，包括一系列專利的GPR單臂或雙臂機器人，GREX機器人系列，單和雙晶圓對準器，FOUP/ FOSB開啟工具，標線庫以及任何其他客戶指定的設備。

Genmark自動化公司的ECS300自動化軟件套件是標準的產品，用來控制Minimax™系統和與制造設備和晶圓廠的接口。

外殼
基架	焊接鋼，BOLTS兼容裝載埠
塗層	烘焙粉末塗層
扇形過濾器
扇形過濾器	裝置參考客戶規範
過濾介質	聚四氟乙烯ULPA99.99995％@0.1微米效率
晶圓尺寸	可達 300毫米
自動化
大氣機器人（類型）	G-Rex; GB4S; GPR-GB7S; GPR-GB8; GPR-GB8-SM
末端執行器（類型）	真空抓取，邊緣抓取，重力
預對準器（類型）	真空抓取夾頭;邊緣抓取夾
晶圓映射	光束
用戶界面	鍵盤，鼠標，觸摸屏
軟件界面	SEMI E30, E84, E87, E90, E40, E94, E99, E118, E116
通訊	物理性質
物理性質
長度	兩個裝載埠 - 45" 三個裝載埠 - 66" 四個裝載埠 - 80"
空氣壓力：與潔凈室環境有關
裝載埠關閉	規格：0.01+/ - 0.005英寸w.c.（2.5+/ - 0.13 Pa）
裝載/卸載	規格：0.01+/ - 0.005英寸w.c.（2.5+/ - 0.13 Pa）
ME恢復時間	< 38 秒
空氣流速	90+/ - 10％英尺/分鐘（0.45+/ - 10％米/秒）
標準符合性
SEMI	- SEMI S1-0701 - SEMI S2-1102 - SEMI S7-96 - SEMI S8-0701 - SEMI S9-1101 - SEMI S10-1296 - SEMI S13- 0298 - SEMI E15-0698 - SEMI S11-1296 - SEMI E54-0997 - SEMI E57-0600 - SEMI E58-0301 - SEMI F47-0400
其他標準	CE標準，國際半導體制造聯盟的集成微環境最佳設計實踐
環境
潔凈度	1級

機載采樣探頭放置在距離樣品位置的0.5 到1.0英寸處，指向采樣位置。如果機械運動會造成機載探頭和運動部件之間的碰撞，機載采樣探頭應當放置在距離最接近運行部件的0.5到1.0英寸處。

系統運動除外，背景計數將所有因素產生的顆粒進行量化。
這包括測試程序本身產生的顆粒。

對於這個測試，機器人以一種模擬的晶圓輸送模式而連續運動。
運動模式是：

Met One 2100C