产品特点

Porta300<span class='small-trade'>™</span> plus
 

特性

  • 基于气动控制机构的卓越性能
  • 条形码,IR和RF载具ID读取器选项
  • 内置SEMI E84接口
  • 8个可配置的标签和光信号(SEMI E87兼容)
  • 2个可选的手动存取按钮
  • 150/200/300毫米开放式晶圆盒适配器
  • BOLTS接口兼容
  • 精确安装的运动耦合
  • 最小粒子,振动和噪音的产生
  • 模块化设计,方便维修的存取
  • 耐指纹处理

符合SEMI标准

  • E64: 小车转送接口
  • E15.1: 装载埠
  • S2 合规性
  • S8 工效指南符合性
  • E44 微环境下的采购和验收指南
  • E57机械。用于对齐和支持300毫米晶圆载具的运动联轴器规范
  • E10 可用性
  • SEMI E1.9-0701 E2 -用于输送和储存300毫米晶圆的晶圆盒机械规范

其他标准

  • UBC Zone 4区和S2区的抗震稳定性
  • 欧盟机械指令
  • 欧盟低电压指令
  • EU EMI/ESD
  • 符合I300I工厂指南的载具ID读取器

Porta300 plus

Porta300™ plus是一种输送300毫米晶圆载具的高级装载埠,符合所有适用的SEMI标准和I300I指南的独特设计,Porta300™ plus设 置了这一类设备的洁净,可靠性,性能和功能的新基准。最先进水平的晶圆映射提供了100%的准确率。所有主要运动均采用气动控制,以提供快速,精确的载具 装载。开启工具的操作由一套完整的安全联锁来控制,能够保护操作人员和设备。一套专用的光束传感器能够避免与机械臂或晶圆发生碰撞。E84连接器是一个标 准功能,包括视觉指标器 – 其提供符合最新版本的E87标准。集成在GB工具箱中的软件支持,提供了简单而全面的诊断功能和用户友好的操作界面。

规格:

配置 Porta300 plus
兼容性 BOLTS 兼容
载具类型 - FOUP, 25晶圆
- FOSB, 25晶圆
- 使用开放式晶圆盒适配器时,25毫米晶圆和150毫米和200毫米晶圆盒
晶圆尺寸 150毫米, 200毫米, 300毫米
基板类型 晶圆
状态指示灯 8个灯,自定义配置
操作按钮 2个:装载和卸载(可以自定义配置)
载具传感器 存在,安置
晶圆映射 光束
载具ID读/写 IR, RF, 条形码
物理性质  
夹紧机构  - 气动驱动钥匙打开FOUR门
- 直流电动机驱动FOUR锁
高度 -带有小车 1410毫米(55.51英寸)
- 无小车1340毫米(52.76英寸)
宽度 476毫米 (18.74 英寸)
驱动 所有主要的轴采用气动驱动和控制
性能  
可靠性 - MTBF > 150,000 HR
- MCBF > 25 M 周期
- 可用性 99.9%
速度 装载:<10秒,没有映射
装载:<10秒,有映射
卸载:<10秒
环境  
洁净度 在100级环境情况下的1级ANSI
标准符合性  
SEMI  - E64:小车转运接口
 - E15.1: 装载埠
 - E62,
 - E63,
 - E84
 - S8 工效指南符合性
 - E44 微环境下的采购和验收指南
 - E57 运动联轴器
其他标准 - UBC Zone 4区和S2区的抗震稳定性
- 欧盟机械指令
- 欧盟低电压指令
- EU EMI/ESD
- 符合I300I工厂指南的载具ID读取器
可靠性根据 SEMI E10  
MCBF (周期) - MTBF > 150,000 HR
- MCBF > 25 M 周期
- 可用性 99.9%