Genmark公司的最新机器人系列，G-Rex 3™描述了标准有效载荷300毫米和450毫米晶圆输送工具应用的目前所有的技术规范，是目前市场上最精确的和最高生产量的大气机器人解决方案。
G-Rex3™机器人系统提供一种有成本效益的程序包，保证了占用空间小，最佳生产量，可靠性和适用性。它提供了创新的专利申请中的设计，高级控制 方法和EZTeach技术，确保高性能和可靠性。G-Rex3™提供了一种较少部件和运动部件的简化小批量设计，确保了更高的加速度和速度的改进动态。
G - Rex3™易于安装，示教，计划和故障排除。由于它的多功能性，G-Rex3™支持各种工具应用和灵活的定制配置，包括单和双臂，单和双叶片末端执行器，真空或边缘抓取支架。.
| G-Rex 3 v.1 | G-Rex 3 v.2 | |
| 配置 | ||
| 晶圆尺寸 | 可达 450毫米 | 可达 450毫米 |
| 机器臂配置 |
2 连杆: 5.25"-5.25; 2 连杆: 7-25"-7.25"; 3 连杆: 4"-8"-4" |
5.205"-5.205" |
| 末端执行器类型 | 真空，边缘抓取，重力 | 真空，边缘抓取，重力 |
| 晶圆映射 | 反射; 光束 | 光束在末端执行器的后侧 |
| 物理性质 | ||
| 尺寸（直径/长度） | 9.76" (本体直径) 和 30.25" | 9.8"/20.94" |
| 垂直行程---本体高度 |
7" - 13.6" 12" - 18.6" 17" - 23.6" 20" - 26.6" |
NA (灰色) |
| 轴 | 3 - T, R, Z | 3 - T, R, Z |
| 运动范围 |
T: 500° R: - 5.25'-5.25': [-10.41 - 10.41] - 7.25'-7.25': [-14.5", 14.5"] - 4"-8"-4": [-16", 16"] Z: 7"; 12"; 17"; 20" |
T: 500° R: [-10.41 - 10.41] Z: [10.7"] |
| 性能 | ||
| 有效载荷（动态/静态） | 2 lbs | 2 lbs |
| 重复性 |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0/001" |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" Z: +/- 0/001" |
| 环境 | ||
| 洁净度 | ISO等级1兼容 | ISO等级1兼容 |
| 晶圆 Contact Material | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸渍阳极化处理Al，氧化铝，不锈 | Vespel，聚醚醚酮，聚四氟乙烯浸渍阳极化处理Al，氧化铝，不锈 |
| 标准符合性 | ||
| 使用指令/标准 |
机器指令89/392/EEC 89/336/EEC (EMC) S2-93A S8-95 |
机器指令89/392/EEC 89/336/EEC (EMC) S2-93A S8-95 |
| 验证符合性的标准 |
EN 55011 EN 50082-1 EN 60204-1 |
EN 55011 EN 50082-1 EN 60204-1 |
| 可靠性根据 SEMI E10 | >15M MCBF | >15M MCBF |
黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备，它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括：:
累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段，来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。
黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口，不需要更新机器人固件。
