产品特点

GPR-GB8-SM Robot System (300/450mm)
 

特性:

  • 尽量减少更快晶圆交换所导致的过程模块的空闲时间
  • 输送机器臂的快速直线运动消除了一条轨道的需求
  • 预定义直线运动方向的能力消除了源和过程模块方面的机器人精确对准的需要
  • 专利的GPR技术考虑了偏转补偿,并且更加有利于拾取/放置位置的对齐
  • 光束扫描能力
  • 真空抓取式或边缘抓取式末端执行器
  • 高级的运动规划和轴的协调

GPR-GB8-SM Robot System (300/450mm)

GPR - GB8- SM是300毫米和450毫米晶圆自动化输送应用的一个精确而高性能双臂机器人。

两个连杆臂(R轴)的整个直线运动组合和两个交换臂(A1和A2轴)的旋转(Y轴),确保了最佳输送多达4个联机FOUP和尺寸相当的过程模块,而无需在线性轨道组件上安装机器人。

专利的GPR技术,使伺服控制机器人与未对齐的晶圆盒,FOUP和过程模块相兼容并且智能地互动,并且在大型有效载荷输送过程中提供软件控制的末端执行器的偏转补偿。

高级的机器人运动规划算法,保证了机器人的平稳运动和过程位置处的晶圆和晶圆载具的快速交换。

规格:

配置  
晶圆尺寸 可达 450毫米
机器臂配置 选项1:O
一个全长转换臂11.075"-11.075"
两个交换臂:6.45"-6.45"

选项2:
一个全长转换臂5.95"-11.9"-5.95"
两个交换臂:5.45"-5.45"
末端执行器类型

机器臂配置1

真空或边缘抓取



机器臂配置2:

仅仅真空抓取
晶圆映射 光束
物理性质  
尺寸(直径/长度) 14" 本体直径
8: T, R, Y, A1, A2, Z, Z1, Z2
运动范围 T: 500°
整个转换臂(R轴):
-  2个连杆 11.075"-11.075": [-21", 21"]
- 3个连杆5.95'-11.9'-5.95": [-30.6", 30.6"]
交换臂(A1和A2轴):
- 2个连杆5.45"-5.45": [-10.35', 10.35"]
- 2个连杆6.46"-6.46": [-8.01, 12.3"]
Z: 12.5"
Y: 680°
性能  
有效载荷(动态/静态) 1.5lbs根据交换臂
重复性 T: +/- 0.01°
R: +/- 0.001"
A1/A2: +/- 0.001"
Z: +/- 0.001"
Y: +/- 0.005°
环境  
洁净度 ISO等级1兼容
晶圆接触材料 Vespel,聚醚醚酮,聚四氟乙烯浸渍阳极化处理Al,氧化铝,不锈
标准符合性  
使用指令/标准 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2 - 93A
验证符合性的标准 EN 60204-1:1997
EN 55011
EN ISO 12100-2:2003
RIA R15.06:1999
可靠性  
可靠性根据 SEMI E10 >15M

黑盒选项:

黑盒子是机器人本体内安装的一个小型电子设备,它收集和存储有关机器人作业的关键信息。保存的信息包括::

  • 设备的正常运行时间,停机时间,制造时间和总运行时间。数据符合SEMI E10-0701标准。
  • 每个电机的转数
  • 因机器人碰撞造成的超速/加速或过载的故障数
  • 机器人的具体信息,如序列号,校准数据和额外的统计数据。

累计的信息提供预防性维护程序所必要的客观标准。使用的数据可用于润滑附表或皮带和电机更换。上述信息考虑了根据实际使用而不是仅仅在一个固定的时间段,来调整机器人的保修期限。此功能可以延长使用中没有激活的机器人的保修。

黑盒子兼容所有Genmark自动化机器人。它有自己的接口,不需要更新机器人固件。

黑盒规格

  • 观察到的机数量:8
  • 存储介质:64KB闪存
  • 数据保存时间:10年以上
  • 通讯接口:RS232,以太网(可选)。