产品特点

Stand-Alone Pre-Aligner
 

特性:

  • 在无需机器人参与的情况下,能够实现基板对齐的自动装置
  • 高精度,高性能和高可靠性
  • 具成本效益的,与Genmark机器人实现无缝集成
  • 多功能 - 测量所有基板(固体和透明)尺寸和形状,而无需调整

Stand-Alone Pre-Aligner

独立式预对准器是一个独立的设备,能够提供基板位置的偏心率和方向的准确和非接触式测量。在大范围的初始基板–位移而需要高对准精度时,它可以与众多基板操纵装置实现集成。

基板可以放置在夹头或预对准器的可选固定引脚上,这取决于机器人的末端执行器的形状。夹头配备两个伺服轴,X和Y,使之移动到基板下方(当时固定在 引脚上)并且补偿任何偏差。独立式预对准器的操作包括晶圆位移测量,必要补偿的计算和槽口(或平面)与所需角度的定向。夹头运动的高分辨率和准确性保证了 多种基板位移的非常精确的对准。

独立式预对准器设计用于广泛的应用范围,无论要对齐的基板的尺寸,形状,透明度和厚度如何。定制设计的灯塔保证了固体和透明对象的准确和可靠的测 量。内置的光学系统认可大约6毫米的基板厚度。预对准器可以测量直径50到300毫米的晶圆和75到200毫米的方形基板。一个可选的移动式灯塔能够针对 不同基板尺寸而进行软件控制调整。

规格:

适用于 晶圆, 标线
晶圆尺寸 3", 100毫米, 125毫米, 150毫米, 200毫米, 300毫米
平坦或槽口方向 平坦,槽口
对准精度  
中心偏移量 0.0005"
角偏移量 0.05"
对准时间 300毫米晶圆:4秒
200毫米晶圆和以下:3.5秒
初始偏移容差 0.5"
伺服灯塔间距 0.35", 0.5"
物理性质  
垂直行程-本体高度 无垂直行程
长度 12"
宽度 10"
高度 11"
标准符合性  
使用指令/标准 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2 - 93A
验证符合性的标准 EN 60204- 1:1997
EN ISO 12100- 2:2003
RIA R15.06:1999
可靠性  
可靠性根据 SEMI E10 / MCBF >10M