这种分离式测量装置，包括3个CCD（电荷耦合器件），旨在与平板输送机器人一道工作，以确定平板的位置和方向。根据CCD（电荷耦合器件）的读数，立即计算出CCD区域内的平板的最后运动和平板的不对齐。对象输送到目标晶圆盒或过程站的过程中，可以实现不对齐的补偿。
| 适用于 | 平板 |
| 晶圆尺寸 |
- 最小平板尺寸：125毫米x 125毫米 - 最大平板尺寸：不限制 |
| 平坦，槽口 | |
| 中心偏移量 | 0.0015" |
| 角偏移量 | 0.1 度 |
| 对准时间 | 3 秒 |
| 初始偏移容差 | 0.5" |
| 伺服灯塔间距 | 0.35", 0.5" |
| 最大垂直速度 | 20"/s |
| 最大垂直加速度 | 40"/s2 |
| 物理性质 | |
| 垂直行程-本体高度 |
8.5" - 14" 13"- 18.5" 16" – 25.35" |
| 长度 | 12.8" |
| 宽度 | 4.4" |
| 标准符合性 | |
| 使用指令/标准 | 机器指令89/392/EEC 低电压指令73/23/EEC 89/336/EEC（EMC） SEMI S2 - 93A |
| 验证符合性的标准 |
EN 60204- 1:1997 EN ISO 12100- 2:2003 RIA R15.06:1999 |
| 可靠性 | |
| 可靠性根据 SEMI E10 / MCBF | >20M |
本测量单元包括携带CCD摄像机的两个单自由度机器臂。它与平板输送机器人一道工作，以便高精确度（±0.001英寸）地将平板定位在电荷耦合器件 （CCD）区域内，CCD区域是可调的，允许大范围的平板对齐。对齐之后，两个CCD机器臂收回，以清除对齐区，从而进一步地操纵平板。
对准时间<5.0秒
对准精度 - ，X，Y±0.002″
ر0.125°捕捉范围/初始偏移容差±0.500英寸
基板尺寸：20×340毫米，360毫米x450毫米，500毫米x 500毫米，600毫米x 600毫米，650毫米x700毫米，760毫米x760毫米
