运动控制部件

目前发展水平运动控制功能

• 控制多功能机器人结构，包括“偏转”，“节距”和“滚动”的运动功能
• 基于多项式样条和贝兹曲线的S曲线速度分布图
• 多区段流畅轨迹的连续路径控制
• 多个轴的同步
• 用户定义的速度分布图的轨迹控制
• 开环和闭环机构的运动建模
• 奇点一致路径规划和奇点避免
• 优化的PID滤波器调整
• 与周边设备（晶圆盒，过程站等）有关的自动调整与周边设备（晶圆盒，过程站等）有关的自动调整
• 末端执行器框架的倾斜功能
• 末端执行器和操作对象的偏转补偿，手臂扫描的几何精度和校准功能
• 基于通过光束或反射传感器的晶圆映射
• 晶圆和FPD的平整度和中心的自动检测
• 非接触式平板调整。行程安全的偏心补偿

• 可编程的行程限制
• 位置跟踪错误检测
• 放大器超载保护
• 紧急停止