产品特点

Vacuum Cluster Integration System (300/450mm)
Vacuum Cluster Integration System (300/450mm)
Vacuum Cluster Integration System (300/450mm)
Vacuum Cluster Integration System (300/450mm)
 

特性

  • 为了支持多步骤的晶圆过程,灵活真空输送室考虑采用5至8个过程
  • 定制的晶圆冷却站适应所有冷却要求,能够产生更高的生产能力。
  • 支持所有低到高压的真空处理
  • 加工所有的基板尺寸,以适应所有的晶圆处理
  • 符合1级洁净室要求,以确保极端严格的洁净度和最终的性能
  • 提供前端和真空输送室内安装的顶部或底部机器人的选择

 

优势

  • 提高工厂的生产力和制造产能
  • 改善设施和设备的利用率
  • 降低制造成本
  • 保护有价值的晶圆

Vacuum Cluster Integration System (300/450mm)

Genmark真空簇集成系统是将最新的自动化技术融入其工厂自动化解决方案系列中。作为一种完整的交钥匙解决方案,可根据客户实际的自动化要求对真空簇工具集成系统进行专门配置。

真空簇工具集成系统包括客户专用的真空室,Genmark自动化公司的MiniMax前端模块(EFEM),加载锁定选项,集成真空晶圆输送解决方案,所有由Genmark自动化公司的最新ECS300自动化软件套件进行控制。

集成的真空晶圆输送解决方案,包括具有专利GPR技术的机器人,是基于6个自由度的伺服控制系统,它可以兼容和智能地与未对齐的过程模块相互作用,并且在大型有效载荷输送期间提供软件控制的最终末端执行器的偏转补偿。

集成的Minimax EFEM系统装有机器人输送工具,其中包括专利的GPR和偏转技术。专利偏转技术能够使得EFEM系统中安装的晶圆输送机器人从一个固定的集中位置存取联机的FOUPS和晶圆盒,并且消除了机器人周围的该过程和其他各站的径向安置需要。

规格:

外壳  
基架 焊接钢
涂层 烘焙粉末涂层
晶圆尺寸 达 450 毫米
自动化  
大气机器人(类型) AVR 3000, GPR-SMV
末端执行器(类型) 重力
预对准器(类型) 真空预对准器 (选项)
有效载荷 多达20磅
自动示教 (选项) 简化站的示教和节省时间
簇工具控制器 协调工具中集成的所有设备的操作,与过程模块,FAB主机和操作人员接口
物理性质  
直径 44.25"
空气压力:与洁净室环境有关
加载埠关闭 65+/-5 psig
加载/卸载 65+/-5 psig
标准符合性  
SEMI

-SEMI S1-0701 -设备安全标签的安全指南

- SEMI S2-1102 -半导体制造设备的环境,安全和健康指南

- SEMI S7-96 - 半导体制造设备的环境,安全和健康(EHS)评估的安全指南

-  SEMI S8-0701 -半导体制造设备工程的人类工效学/人因工程学的安全指南

- SEMI S9-1101 - 半导体制造设备的电气设计验证测试的安全指南

- SEMI S10-1296 -风险评估的安全准则

- SEMI S13- 0298 –半导体制造设备所用的操作和维修手册的安全指南

- SEMI E 20-0697 -簇工具模块接口:电力和紧急关闭标准

- SEMI 21-94 - 簇工具模块接口:机械接口和晶圆输送标准

- SEMI E24-92 - 簇工具模块接口:隔离阀联锁标准

- SEMI E25-92 -簇工具模块接口:模块存取指南

- SEMI E26-92 - 径向簇工具轨迹标准

- SEMI S11-1296 - 半导体制造设备微环境的环境,安全与健康指南

- SEMI E54-0997 - 传感器/执行器网络标准

- SEMI E57-0600 -用于对齐和支撑300毫米晶圆载具的运动联轴器的机械规范

- SEMI E58-0301 – 自动化的可靠性,可用性和可维护性标准(ARAMS):概念,特性和服务

-  SEMI F47-0400 -电压骤降抗扰度规范
其他标准 CE标准,国际半导体制造联盟的集成微环境最佳设计实践
环境  
洁净度 优于1级
真空室  
工作范围  -低压:10E至10E-2 Torr
 - 高压:10E至210E2 Torr
真空室材料 铝 6061-T6
视埠材料 zelux(光学级),7056玻璃
极限真空度 优于10-6 Torr(涡轮泵,ISO100埠)
传送阀 标准50×336毫米
晶圆存在传感器 嵌入工具中
机器人安装 可以顶部或底部的机器人安装
真空机器人类型 适合单臂或双臂真空机器人