진공 엘리베이터는 진공 공정 자본설비에서 정확하고 HV-호환의 웨이퍼 인덱싱을 제공하며, 여기서 Material 처리는 로봇의 제한된 수직 이동 능력에 따라 수행됩니다..
진공 엘리베이터는 하나 혹은 두 개의 서보 제어 축을 갖고 있습니다. Single-axis 엘리베이터는 7, 14, 17인치 이동력의 수직 인덱싱을 제공합니다. Dual-axis 엘리베이터는 수직 축 주변으로 추가로 360도 회전합니다. Translational과 Rotaional 메커니즘은 Ferro-fluidic 및 magneticall-coupled seals를 사용하는 대기 환경과는 분리되어 있습니다.
| Configuration | |
| Wafer Carrier Type | Wafer cassettes and boats |
| Physical Properties | |
| Size (Diameter) |
Single axis 10.35", two axes 12.50" |
| Body Height |
7" travel – 15.6", 14" travel – 22.6" 17" travel – 25.6" |
| Axes | 1 or 2: Z or Z and T |
| Range of Motion |
Z: 7", 14", 17"; T : 360 degrees |
| Performance | |
| Payload | 20 lb |
| Base Operating Pressure | 10E-8 Torr |
| Leak rate | <1*10E-9 std cc/sec |
| Repeatability | |
| Rotational (T) | T: +/- 0.01 degree |
| Vertical (Z) | Z: +/- 0.001" |
| Environment | |
| Cleanliness | < Class 1 Clean Room Compatible |
| Wafer contact Materials | Aluminum, SS, Viton, Vacuum Grease |
