제품 하이라이트

GPR-GB9 Vacuum Robot System (300/450mm)
GPR-GB9 Vacuum Robot System (300/450mm)
 

Features:

  • GPR technology
  • Alignment free
  • Ultra high vacuum compatible ( to 10E-10 Torr)
  • Less than class 1 clean room compatible
  • Vertical travel up to 6.00” eliminating need for indexers and elevators
  • High payload, ideal choice for large FPD and wafer platen applications
  • Mountable from top or bottom of mounting plate
  • Deflection compensation
  • DSP-based motion control for vibration-free wafer transport

GPR-GB9 Vacuum Robot System (300/450mm)

GPR-GB9 진공 로봇 시스템은 Genmark GPR™의 정확수송 로봇의 최신 시스템이며 수직 스트로크 옵션은 3” 및 6”이 가능 합니다.

GPR-GB9는 정확하고 반복 가능한 인덱싱과 10E-10 Torr의 진공 공정 운용 장비 내 반도체 웨이퍼 수송이 가능합니다. 이 로봇은 300/450mm 호환 진공 웨이퍼/FPD 핸들러에서 현재 가능한 최고 수준의 성능을 달성하기 위해 Genmark Automation의 혁신적인 GPR™ 시스템을 특징으로 합니다.

GPR 특허 기술을 통해 서보 제어 로봇이 misaligned cassettes, FOUPS, 공정 모듈을 유연하고 지능적으로 연결할 수 있게 해줄 뿐만 아니라, 더 무거운 하중의 수송 동안 소프트웨어 제어 end-effector 편차 보정을 할 수 있게 해줍니다.

Specifications:

Configuration  
Wafer Sizes Wafers up to 450mm
Platters and other fixtures
Arm Configuration(s) 2 Link 7.5"-7.5"
2 Link 10.5"-10.5"
2 Link 12.5"-12.5"
End Effectors Types Gravity
Physical Properties  
Size (Diameter) 14"
Body Height 3" travel - 26.2"
6" travel - 29.2"
Axes 3: T, R, Z.
Range of Motion

T: 500°
R:
- 7.5"-7.5": +/- 14.5"
- 10.5"-10.5": +/- 20"
- 12.5"-12.5": +/- 24"

R (heavy duty arm):
 - 12.5"-12.5": +/- 24"
Z: 3", 6"

Tilt: 1.0°

Performance  
Payload

25lbs (standard arms)

33lbs (heavy duty arms)

Base Operating Pressure 10E-10 Torr
Leak rate <1*10E-9 std cc/sec
Repeatability T: +/- 0.01°
R: +/- 0.001"
Z: +/- 0.001"
Radial ( R ) 0.001"
Rotational ( T ) 0.01°
Vertical ( Z ) 0.001"
Reliability (MTBF) >000 hours
Environment  
Cleanliness < Class 1 Clean Room Compatible
Wafer contact Materials Aluminum, SS, Viton, Vacuum Grease
Standards Compliance  
Applicable Directives/Standards Machine Directive 89/392/EEC
Low Voltage Directive 73/23/EEC
89/336/EEC(EMC)
SEMI S2-93A
Standards to Verify Compliance EN 60204-1:1997
EN ISO 12100-2:2003
RIA R15.06:1999
Reliability  
Reliability per SEMI E10 >14M MCBF

Black Box Option:

블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.

  • 장비 가동시간, 비사용시간, 제조시간, 총가동시간, 자료는 SEMI E10-701 표준을 준수합니다
  • 각 모터에 대한 회전 수
  • 로봇충돌로 인한 과도한 속도/가속, 오버로드로 인한 오류 수
  • 시리얼 번호, 조정 자료, 추가 통계자료와 같은 로봇 특수 정보

누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.

블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.

Black Box Specifications

  • Number of motors observed: up to 8
  • Storage media: 64KB FLASH
  • Data retention time: More than 10 years
  • Communication interface: RS232, Ethernet (optional).