AVR SMV 3000은 10E-10 Torr까지 진공 공정 운용설비에서 정확하고 신뢰성 있고 반복 가능한 웨이퍼 수송을 제공하는 고성능 듀얼-팔 진공 로봇입니다.
로봇 arm및변속 장치 디자인에 통합된 최신 기술을 통해 “overactive” 게이트 밸브와 불가피하게 충돌하더라도 그 이후 zero backslash를 보증합니다. 로봇의 재 teaching없이 수송을 바로 Recovery 할 수 있습니다. 로봇의 기계공학은 단순성, 모듈형 설계, 쉬운 제어, teaching, 프로그래밍에 도움이 됩니다.
연속적으로 매끄러운 궤도에서 향상된 동작 계획은 다양한 백-엔드 레이아웃에서 우수한 성능과 효율적인 구현을 보증합니다.
AVR SMV 3000은 다양한 end-effector 옵션으로 사용할 수 있습니다. 이를 통해 광범위한 웨이퍼, 포토마스크, FPD를 수송할 수 있습니다.
| Configuration | |
| Wafer Sizes | Wafers up to 300mm |
| Arm Configuration(s) | 2 Link 7.5"-7.5" |
| End Effectors Types | Gravity |
| Physical Properties | |
| Size (Diameter) | 11.5" |
| Body Height | 20.46" |
| Axes | 4: T, R, R2, Z. |
| Range of Motion |
T: 360° R and R2: -7.25"-7.25": [-13.775", 13.775"] Z: 1.5" |
| Performance | |
| Payload | 12 lb |
| Base Operating Pressure | 10E-10 Torr |
| Leak rate | <1*10E-9 std cc/sec |
| Repeatability |
T: +/- 0.01° R: +/- 0.001" R2: +/- 0.001" Z: +/- 0.001" |
| Radial ( R ) | 0.001" |
| Rotational ( T ) | 0.01° |
| Vertical ( Z ) | 0.001" |
| Reliability (MTBF) | >000 hours |
| Environment | |
| Cleanliness | < Class 1 Clean Room Compatible |
| Wafer contact Materials | Aluminum, SS, Viton, Vacuum Grease |
| Standards Compliance | |
| Applicable Directives/Standards |
Machine Directive 89/392/EEC Low Voltage Directive 73/23/EEC 89/336/EEC(EMC) SEMI S2-93A |
| Standards to Verify Compliance |
EN 60204-1:1997 EN ISO 12100-2:2003 RIA R15.06:1999 |
| Reliability | |
| Reliability per SEMI E10 | >14M MCBF |
블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.
누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.
블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.
