제품 하이라이트

AVR 3600 Vacuum Robot System (300/450mm)
 

Features:

  • 6.0 inches of vertical travel
  • DSP-based motion control for vibration free wafer transport
  • Less than class 1 clean room compatible
  • Radial cassettes / process chambers access capabilities

AVR 3600 Vacuum Robot System (300/450mm)

AVR-3600 진공 로봇 시스템은 극도로 청결한 진공 공정 환경에서 매우 정확하고 신뢰성 있는 수송을 제공합니다. AVR-3600은 10E-10 Torr까지 작동 가능하며, 6.0”까지 수직 동작 축 범위를 갖고 있습니다.

특수 운동학 및 동작 전달 설계는 로봇 arm의신속한 운동, zero backlash, 연결부에 적용된 과도한 외부 힘에 대한 강인성을 보증합니다.

중첩 속도 프로필을 갖는 다중-세그먼트 궤적에 대한 향상된 동작 조정은 부드럽고 효율적인 Material 수송을 보증합니다.

AVR-3600은 0.5" 수직 운동력을 갖고 있으며, 다양한 end-effector 옵션으로 사용할 수 있습니다. 이를 통해 로봇은 450mm에 이르는 광범위한 웨이퍼, 포토마스크, FPD를 확장된 Radial 범위로 수송할 수 있습니다.

Specifications:

Configuration  
Wafer Sizes Wafers up to 450mm
Platters and other fixtures
Arm Configuration(s) 2 Link 5.25"-5.25"
2 Link 7.5"-7.5"
2 Link 10.5"-10.5"
2 Link 12.5"-12.5"
End Effectors Types Gravity
Physical Properties  
Size (Diameter) 9.83"
Body Height 18"
Axes 3: T, R, Z
Range of Motion T: 500°
R:
-    5.25"-5.25: -7.5", 10.5"
-    7.5"-7.5": +/- 20"
-    10.5"-10.5": +/- 20"
-    12.5-12.5":+/-24"
Z: 6.0"
Performance  
Payload 5lb
Base Operating Pressure 10E-10 Torr
Leak rate <1*10E-9 std cc/sec
Repeatability T: +/- 0.01°
R: +/- 0.001"
Z: +/- 0.001"
Radial ( R ) 0.001"
Rotational ( T ) 0.01°
Vertical ( Z ) 0.001"
Reliability (MTBF) >000 hours
Environment  
Cleanliness < Class 1 Clean Room Compatible
Wafer contact Materials Aluminum, SS, Viton, Vacuum Grease
Standards Compliance  
Applicable Directives/Standards Machine Directive 89/392/EEC
Low Voltage Directive 73/23/EEC
89/336/EEC(EMC)
SEMI S2-93A
Standards to Verify Compliance EN 60204-1:1997
EN ISO 12100-2:2003
RIA R15.06:1999
Reliability  
Reliability per SEMI E10 >12.7M MCBF

Black Box Option:

블랙박스는 로봇 기체 내부에 설치된 작은 전기 장치입니다. 블랙박스는 로봇 작동에 관한 핵심 정보를 수집하고 저장합니다. 보존 정보는 다음과 같습니다.

  • 장비 가동시간, 비사용시간, 제조시간, 총가동시간, 자료는 SEMI E10-701 표준을 준수합니다
  • 각 모터에 대한 회전 수
  • 로봇충돌로 인한 과도한 속도/가속, 오버로드로 인한 오류 수
  • 시리얼 번호, 조정 자료, 추가 통계자료와 같은 로봇 특수 정보

누적 정보는 예방 유지보수 절차의 요구에 객관적 기준을 제시합니다. 사용 자료는 윤활 일정 혹은 벨트 및 모터 교체에 사용할 수 있습니다. 이러한 정보를 통해 고정된 시기보다는 실제 사용에 근거하여 로봇 보증을 조정할 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 활발하게 사용하지 않을 시 로봇에 대한 보증이 확장될 수 있습니다.

블랙박스는 모든 Genmark Automation 로봇과 호환 가능합니다. 블랙박스는 고유한 인터페이스를 갖고 있으며 로봇 펌웨어의 업데이트를 필요로 하지 않습니다.

Black Box Specifications

  • Number of motors observed: up to 8
  • Storage media: 64KB FLASH
  • Data retention time: More than 10 years
  • Communication interface: RS232, Ethernet (optional).